PDF《Technical Report》

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hitachi-hightech.com/hig/ 本社:上海市浦东新区张江高科技园区碧波路690号2号楼102室TEL:+86-21-5027-3533 东莞分公司:广东省东莞市长安镇长青南路306号金业大厦4楼TEL:+86-769-8584-5872 ?2015 Hitachi Instruments (Shanghai) Co., Ltd. XRF No.81 荧光X射线分析 X射线荧光镀层厚度测量仪 FT150 -硬件概要- 硬件概要 FT-150系列 大幅提升操作性的样品室门 样品室与工作台可根据大型线路板等待测样品,选择标 准型与大型2种. 适用于各种样品尺寸的产品线 易于使用的各种功能 新设计的样品室门加大了开口部,使待测样品更易进 出,此外,采用了大型观察窗,即使关门状态下也易于 确认测量位置. 图2-3 从大型观察窗 观察样品 图2-2 样品进出 图示 采用最新开发的多毛细管X射线聚光元件,可测量100 μm以下的超小型零件的膜厚. (测量范围: FT150(L): Au

30 μm, FT150h:Sn

30 μm, FWHM:各17 μm) 通过X射线检测机构的最优化,多层电镀膜厚测量速度 与本公司以往机器(FT9500X)相比提高2倍以上. (参照Technical Report XRF No.83) 产品线中增加了适于测量片式原器件等Sn/Ni双层膜的 FT150h.(参照Technical Report XRF No.84) 利用高清晰摄像头拍摄的高清晰样品图像 图3是半导体线路样品画面.与以往机种相比,可清晰的观 察到约20 μm间距的线路及其边界. 自动关机功能 电源关闭,待X射线管球冷却后自动关闭装置.可防止X 射线管球受损,同时简化了仪器操作. 利用触摸屏(选购项),可在触碰样品图像的同时直观接 近测量位置. 表1 装置外形与最大样品尺寸、样品台移动范围 图3-1 FT150 图3-2 以往机种 利用新开发的X射线光束对微小区域进行高精度测量 FT-150 FT-150h FT-150L 多毛细管 聚光30 μm直径范围 X射线管球 1次X射线 图1 多毛细管图 X射线荧光 型号 FT150 (标准型号) FT150h (高能量型号) FT150L (大型样品对应型号) 外形尺寸 (W*D*H) mm 930*900*710 1030*1200*710 最大样品尺寸 (W*D*H) mm 400*300*100 600* 600*

20 样品台移动范围 (X*Y*Z) mm 400*300*100 300* 300*100

100 μm 图2-1 大型样品室 门 X射线荧光镀层厚度测量仪作为一种可高速、简便地对电子零件等的镀层,半导体工艺中的 薄膜,以及汽车部件中各类工业产品表皮膜等的膜厚进行管理的仪器而被广泛应用. FT150利用多毛细管所产生的照射直径为30 μm的高强度X射线光束,最适于测量微小连接器、 柔性电路板及导线架等微小零件及超薄镀层. 通过优化X射线光束与检测器,与本公司以往机型相比,效率提高2倍 (与本公司以往机型FT9550X相比) 对装置设计进行了全面改进,查看样品室及测量位置的确认更加容易,大幅提高了操作性. 产品线增加了FT150h,搭载了可测量超微部分的锡(Sn)及银(Ag)等的高能量元素的 专用X射线发生系统. 利用新开发的软件"XRF controller",可提高用户管理设定、操作导航及大型图标的操 作性, 实现数据库的综合数据管理. 此份资料中主要包括了FT150的硬件概要. 2015.2