PDF《FSM Series》

1144 ! #( N2 ) RAPIFLOW ! / ! FSM Series ! 0.

05~0.5 0.1~1 0.5~5 1~10 2~20 5~50 10~100 /min 流量范围 /min注1 适用流体 最高使用压力 MPa 最低使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用环境温度・湿度 使用流体温度 直线性 显示・模拟输出 压力特性 温度特性 再现性 重复精度) 响应特性 显示的种类 输出的种类 电源电压 消耗电流 导线 保有机能 安装方向 导入直管部位 保护构造 保护回路 注4 EMC指令 精度使用条件安装显示器规格 项目显示器型 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101 洁净空气 JIS B 8392-1.1.2 5.6.2 压缩空气 JIS B 8392-1.1.2 1.6.2 注2 N2气体 注3 0.5 0.07 0.75

0 50

90 RH以下

0 50 不得结露

5 F.S.以下 0.1MPa

25 流量范围10

100 F.S.

5 F.S.以下 0.07 0.5MPa 但是,以0.1MPa为基准 0.2 F.S. 以下

15 35 但是,以25 为基准 50ms以下注5 流量显示(7区分3 1/2位数 橙色)、运转及开关输出显示(橙色) 开关输出2点 对应NPN或者PNP开式接插件输出 50mA以下 电压降2.4V以下 PLC 继电器 模拟输出1点15V电压输出、连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 60mA以下 3.7 0.2mm2 5芯1m 流量显示、流量显示峰值、开关输出、模拟输出 纵・横自如 不要 IEC规格 IP40 电源反向连接保护、开关输出反向连接保护、开关输出负荷短路保护 EN50081

2 50082

2 0.05 0.5 0.1

1 0.5

5 1

10 2

20 5

50 10

100 1 F.S.以下

3 F.S.以下 流量50 F.S.以下时

2 F.S.以下 H4 H6 6A 6AA M5 8A 8AA 显示器型质量 接管口径 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

170 90

205 105 单位 g H4 H6 6A 6AA M5 8A 8AA 模拟输出型质量 接管口径 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 FSM-A-101

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

160 80

195 95 单位 g 净化规格 样本No.CB-033S FSM- FSM- - - P70 P80 可在净化室内使用的防发尘构造

1145 流量传感器小型空气氮气用冷冻式 干燥机 干燥剂式 干燥机 高分子膜式 干燥机 空气 过滤器 其它 排水器 F.R.L 组件 F.R.L 分类 小型F R 精密R 净化 F R 电空R F.R.L 相关元件 速度 控制器 消声器 止回阀 其它单向阀 管接头 气管 真空F 真空R 真空发生器 真空辅助 设施 衬垫 吸盘 机械式 压力开关 电子式 压力开关 电子差压 开关 着座 密合 确认开关 空压传感器 紧固用 压力开关 小型流量 传感器 流量 传感器 全空压系统 (全空压系统) 全空压系统 γ 循环式 水冷却装置 水用流量 传感器 FSM Series 流量范围 /min注1 适用流体 最高使用压力 MPa 最低使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用环境温度・湿度 使用流体温度 直线性 模拟输出 压力特性 温度特性 再现性 重复精度) 响应特性 显示的种类 输出的种类 电源电压 消耗电流 导线 特有机能 保护回路 注4 安装方向 导入直管部位 保护构造 EMC指令 精度使用条件安装模拟输出型规格 洁净空气 JIS B 8392-1.1.2 5.6.2 压缩空气 JIS B 8392-1.1.2 1.6.2 注2 N2气体 注3 0.5 0.07 0.75

0 50

90 RH以下

0 50 不得结露

5 F.S.以下 0.1MPa

25 流量范围10

100 F.S.

5 F.S.以下 0.07 0.5MPa 但是,以0.1MPa为基准 0.2 F.S. 以下

15 35 但是,以25 为基准 50ms以下注5 电源显示(绿色) 模拟输出1点15V电压输出、连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 50mA以下 3.7 0.15mm2 3芯1m 模拟输出 电源反向连接保护 纵・横自如 不要 IEC规格 IP40 EN50081