PDF《2018~2019 年度广东省重大科技专项 “量子科学与工程”申...》

(二) 考核指标. 1.固态量子芯片包含不低于

50 个量子比特,其平均退相干时 间(弛豫时间)不低于

20 微秒.单比特门保真度不低于 99.9%, 两比特门保真度不低于 99%.2.自主研发的测控仪表为模块式结 构,模拟带宽不低于 300MHz,采样率不低于 1GS/s,通道数不低 于100 个.3.开发出 2~3 种具有量子加速优势和潜在应用价值的 量子算法.4.在包含

50 比特的超导量子芯片上,针对所开发的量 子算法,实现对特定量子多体物理问题的求解,其计算能力力争 超越商用经典计算机. 专题三:电子束曝光机研制(专题编号:0326)

(一) 研究内容. -

3 - 重点研发应用于量子芯片研制与加工的具有完全自主知识产 权的全系列电子束曝光系统,主要包括:1.以AD/DA 板卡和独立 扫描电子束图形发生器为基础的可配套扫描电子显微镜使用的初 级电子束曝光系统. 2.以独立研制电子枪及电子光学系统为基础的 最高加速电压不低于 50kV 的专业化电子束曝光机. 着重攻关电子 束曝光机所涉及关键核心技术,包括研发用于电子束曝光机的高 能场发射电子枪,针对高能电子束曝光应用的电子光学系统,高 速电子束束闸,高速稳定的电子束矢量扫描系统,大范围写场拼 接所需要的高精度激光干涉样品台,电子束曝光控制和应用软件, 针对电子束曝光中的邻近效应开发高性能修正软件等.通过对电 子束曝光机的研发,实现量子芯片的自主设计加工,减少对相关 进口仪器的依赖,降低芯片制造成本,进而推进量子计算与通信 的技术研究和实用化.

(二) 考核指标. 1.扫描电子束图形发生器, 可装配至主流扫描电子显微镜实现 电子束曝光功能, 扫描速度 5-50 MHz, 数模转换位数不低于 12-18 位.2.高能电子束曝光机,最高加速电压不低于

30 kV,具有纳米 量级束斑,最大写场 500-2000 μm,可加工

10 nm 线宽结构.3.高 精度样品台位移控制精度优于 5nm,最大位移范围 100-200 mm. 专题四:星地一体量子保密通信网络及关键技术(专题编号: 0327)

(一) 研究内容. -

4 - 结合星地一体量子通信网络的总体规划,建设广东省星地一 体量子通信试验示范网,研发网络调度和仿真平台,重点攻关面 向星地一体化量子通信网络组网的技术研究、模拟平台研制及应 用系统研发.具体内容包括:1.建设星地一体量子保密通信网络, 包括量子卫星地面站和地面干线. 2.研发星地量子通信网络的集中 运行调度系统.3.研发星地量子密钥分发仿真系统.4.研制星地量 子密钥分发成码率估算设备.通过对星地一体化量子通信网络的 关键技术攻关及系统研制建设,为星地量子通信网络的工程化实 用化组网打下基础,推进量子通信的产业化发展.

(二) 考核指标. 1.建设星地一体量子保密通信网络, 实现卫星和地面网络的对 接融合,地面网络成码指标不低于相同等级干线或城域网络指标, 地面站指标不低于已发表论文中相关指标参数,需预留接口对接 未来国家规划建设的京广干线和卫星网络. 2.研发星地量子通信网 络的集中运行调度系统,系统拥有低任务调度策略制定时间,高 调度策略执行成功率,高任务系统可用率,具有实用价值.3.研发 星地量子密钥分发仿真系统,支持环境数据及卫星轨道数据采集, 支持星地成码率估算,仿真系统结果偏差小,单次任务仿真时间 短,具有实用价值.4.研发星地量子密钥分发成码率估算设备,支 持夜间云量分析,支持周边环境遮挡情况分析,支持温湿度测量, 支持卫星轨道信息录入,支持星地成码率估算.系统估算偏差率 低,系统估算用时短,具有实用价值. -