PDF《建设项目环境影响报告表》

苯甲基系光阻 剂LD50(大鼠经口) : 2000mg/kg 显影液 无色透明液体,四甲基氢 氧化铵、水的混合物.沸点:102℃,相对密度(水=1):1.溶于水. / 蒸气有毒,无相关毒性数据 去光阻剂 无色液体,几乎无臭,带 有苦味, 相对密度 1.1014, 熔点 18.4℃;

沸点 189℃;

闪点 95℃, 是极强的惰性 溶剂 可燃,燃点 300~302℃;

蒸气与 空气混合能形成爆炸性混合 物,下限 2.6%,上限 41.8% 低毒,大鼠经口 LD50: 18000mg/kg 铜蚀刻剂 过氧化氢 5%,乙酸钠 10%,甘氨酸 10%,其余 为水;

透明液体,pH: 6.5~7.5;

密度 1~1.1 / LD50(大鼠经口) : 7930mg/kg 钛钨蚀刻 剂30%过氧化氢,无色透明 液体,有微弱气味,熔点 -2℃,沸点 158℃,相对 密度 1.46 过氧化氢本身不燃,但能与可 燃物反应放出大量热量和氧气 而引起着火爆炸. 无相关毒性数据 甲酸 无色透明发烟液体,有强 烈刺激性酸味, 熔点 8.2℃ 沸点:100.8℃,相对密度 1.23 其蒸气与空气形成爆炸性混合 物,遇明火、高热能引起燃烧 爆炸. 低毒类,LD501100mg/kg(大 鼠经口);

LC5015000mg/m3 ,

15 分钟(大鼠吸入);

硫酸 纯品为无色透明油状液 体,无臭.分子量 98.08, 熔点 10.5℃,沸点 330.0 ℃,蒸汽压 0.13kPa(145.8 ℃), 相对密度(水=1)1.83. 与水混溶. 与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)接触会发生剧烈 反应,甚至引起燃烧.能与一 些活性金属粉末发生反应,放 出氢气.遇水大量放热,可发 生沸溅.具有强腐蚀性. 中等毒性.LD5080mg/kg(大 鼠经口);

LC50510mg/m3 ,2 小时(大鼠吸入);

320mg/m3 ,

2 小时(小鼠吸入)

2、本项目主要设备规格及数量详见下表. 表1-3 本项目主要设备/设施规格及数量 序号 名称 规格型号 单位 数量 备注

1 溅镀机 LLS EVO,2000 台1利用现有

2 涂布机 VRC-8000,2000 台1利用现有

3 显影机 优洋

2000 台1利用现有

4 曝光机

2000 台1新增,研发专用

5 铜电镀机

2000 台1新增,研发专用

6 锡电镀机

2000 台1新增,研发专用

7 去光阻机 优洋

2000 台1利用现有

8 铜蚀刻机 VE-8000,2000 台1利用现有

9 钛钨蚀刻机 优洋

2000 台1利用现有

10 回流机 Semigear300XP 台1新增,研发专用

11 晶圆测试机

2000 台1新增,研发专用

3 水及能源消耗量 名称消耗量 名称消耗量 水(吨/年) 新鲜水用量增加

459 燃油(吨/年) ―― 电(度/年) 用电量增加 17.0 万 燃气(标立方米/年) ―― 燃煤(吨/年) ―― 其它 ―― 废水(工业废水√、生活污水 )排水量及排放去向 工业废水:本次研发项目含氮磷废水依托原有五期项目的氮磷废水处理回用系统(3 号),氮磷废水全部回用不外排;

一般酸碱废水依托五期项目的一般废水处理设施(4 号),厂内预处理后接管园区第一污水处理厂. 生活污水:本次研发项目不新增职工,所以不增加生活污水. 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况 无 工程内容及规模: (不够时可附另页)

1、企业简介及项目由来 颀中科技 (苏州) 有限公司 (以下简称 颀中科技 ) 现位于苏州工业园区凤里街

166 号.公司始创于

2004 年,为半导体凸块制作的专业厂商,隶属半导体产业下游的封装测 试业,为显示器驱动芯片全制程封装测试公司,主要从事晶圆凸块加工和后段卷带式薄 膜覆晶封装(COF)、玻璃覆晶封装(COG),产品主要作为新型显示面板的驱动元件,国内 终端客户包括京东方、华星光电、友达光电、群创光电、中电熊猫、天马等. 根据国务院