PDF《微流量传感器》

微流量传感器 (型号:F1012) 使用说明书版本号:2.

1 实施日期:2014.12.01 郑州炜盛电子科技有限公司 Zhengzhou Winsen Electronic Technology Co., Ltd 声明 本说明书版权属郑州炜盛电子科技有限公司(以下称本公司)所有,未经书面许可,本 说明书任何部分不得复制、翻译、存储于数据库或检索系统内,也不可以电子、翻拍、录音 等任何手段进行传播. 感谢您使用本公司的系列产品.为使您更好地使用本公司产品,减少因使用不当造成的 产品故障,使用前请务必仔细阅读本说明书并按照所建议的使用方法进行使用.如果您没有 依照本说明书使用或擅自去除、拆解、更换传感器内部组件,本公司不承担由此造成的任何 损失. 您所购买产品的颜色、款式及尺寸以实物为准. 本公司秉承科技进步的理念,不断致力于产品改进和技术创新.因此,本公司保留任何 产品改进而不预先通知的权力.使用本说明书时,请确认其属于有效版本.同时,本公司鼓 励使用者根据其使用情况,探讨本产品更优化的使用方法. 请妥善保管本说明书,以便在您日后需要时能及时查阅并获得帮助. 郑州炜盛电子科技有限公司 微流量传感器系列 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 F1012 微流量传感器 产品描述 F1012 微流量传感器是利用热力学原理对流道 中的气体介质进行流量检测,具有很好的精度与重 复性.内置有温度传感器,每只都进行专有的温度 补偿校准;

同时具有线性模拟电压输出, 方便使用. 传感器特点 最新一代 MEMS 传感器芯片技术 精度高,响应速度快,重复性好 可精确测量极小流量 经过完全校准和温度补偿 主要应用 工业过程控制 空气和环境保护 便携式仪器 技术指标 表1管脚 功能

1 空脚

2 OUT

3 VCC

4 GND

5 空脚

6 空脚 产品型号 F1012 量程①

20、

30、

50、

100、

200、

500、

1000、

1200、2000sccm② 最小 典型值 最大 单位 满量程输出 4.90 5.00 5.10 V 零流量输出 0.96 1.00 1.04 V 输出阻抗 -

200 - Ω 工作电压 7.0 10.0 14.0 V 工作电流

15 25

30 mA 精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S 重复性 - ±0.3 ±0.5 %F.S 年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S 压损

1200 Pa@1000sccm 工作压力④ - -

200 kPa 反应时间

5 10

15 ms 工作温度⑤ -25 -

65 ℃ 储存温度 -40 -

90 ℃ 图1:传感器结构图 表2:管脚定义 微流量传感器系列 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 注: ①可提供 20-2000sccm 之间任意量程,

20、

30、

50、

100、

200、

500、

1000、

1200、2000sccm 为常 规量程,其他量程收定制费. ②sccm:standard-state cubic centimeter per minute,意义为标况毫升每分钟,标况规定为:气体 温度 0℃ ;

气压 101.325 kPa;

③测试条件为室温、清洁空气. ④可提供工作压力为 0.8MPa 产品. ⑤温度补偿实校范围为 0℃-50℃,超过此范围温度补偿效果不能保证. 流量换算 实际流量 = 满量程 *(传感器输出电压 - 传感器零点输出电压)/(传感器满量程输出电压-传 感器零点输出电压) 例如:传感器量程为 1000sccm,传感器零点输出电压为 1,传感器满量程输出电压为 5V,测量传 感器实际输出电压为 2.5V. 实际流量 = 1000sccm * (2.5V - 1V)/(5V - 1V) = 375sccm 命名规则 F1

0 1

2 - - - 注意事项

1、禁止在强腐蚀性气体、有毒性气体、爆炸性气体环境中使用.