PDF《业清洗与表面处理设备产业化项目环境影响 评价文件审批决定...》

沈阳市生态环境局浑南分局关于

2019 年6月4日做出工 业清洗与表面处理设备产业化项目环境影响 评价文件审批决定的公告 根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,

2019 年6月4日我局对

1 个建设项目环境影响评价文件做出审 批决定.

现将做出审批决定予以公告,公告期为

2019 年6月4日至

2019 年6月10 日(7 日) 行政复议与行政诉讼权利告知:依据《中华人民共和国行 政复议法》和《中华人民共和国行政诉讼法》,公民、法人或 者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵 犯其合法权益的,可以自公告期限届满之日起六十日内提起行 政复议, 也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼. 联系

电话: 024-24263893 024-24263893(传真)邮编

110168 联系地址:沈阳市浑南区银卡东路

8 号,沈阳市浑南区政 务服务中心一楼环保窗口 序号 文件名称 文号 发文时间

1 高端晶圆处理设备产业化项目 沈环浑南审字(2019)21 号2019 年6月4日关于高端晶圆处理设备产业化项目 环境影响报告表批复意见 沈阳芯源微电子设备股份有限公司: 你单位报送的《高端晶圆处理设备产业化项目环境影响报 告表》收悉,依据此项目环境影响报告表及相关申请材料,经 研究,现对《高端晶圆处理设备产业化项目环境影响报告表》 (以下简称"报告表")批复如下:

一、高端晶圆处理设备产业化项目位于沈阳市浑南区新岛 街6号, 本项目总占地面积 21499.91 平方米, 总建筑面积

32125 平方米(最终以规划部门审定面积为准),新购置一净地用于 新厂房的建设,建成后用于成套高端晶圆处理设备的产业化建 设.项目预计生产 8/12 英寸晶圆前道涂胶/显影机

50 台/年, 预计生产 8/12 英寸前道单片式清洗设备

80 台/年. 项目总投资 23860.73 万元,其中环保投资 34.6 万元,所占比例为 0.15%. 本项目符合国家产业政策和浑南区总体规划要求,在切实落实 环境影响报告表提出的环境保护措施后, 从环境保护角度分析, 同意本项目按照环境影响报告表规定的性质、规模、地点和布 局及环境保护措施进行建设,本项目若性质、规模等发生变化, 需重新报批环评手续.

二、本项目供电依托市政;

项目冬季新建

1 台4MW/h 燃气 热水锅炉,用于 4#研发楼和 5#生产厂房冬季供热.新建

1 台风 冷螺杆机,用于夏季对 5#生产厂房恒温制冷.

三、项目建设和生产应重点做好如下工作: 1.本项目生产过程产生的有机废气(以非甲烷总烃计)经 集气装置收集后,分别经

3 套活性炭吸附装置吸附后,再分别 通过

3 根15 米高排气筒排放;

本项目生产过程产生的酸性气体 和氨气经集气装置收集,分别由

2 套水洗塔处理后,再分别通 过4根15 米高排气筒排放. 锅炉燃烧废气由不低于

8 米高的排 气筒排放. 2.本项目员工生活污水、软化水制备浓水、纯水制备浓水 经化粪池预处理后经市政污水管网排入浑南桃仙污水处理厂, 处理达标后排放. 本项目水洗塔废水经中和处理后排入化粪池, 经市政污水管网排入浑南桃仙污水处理厂,处理达标后排放. 3.项目生产过程中产生的废化学试剂、废有机试剂、废抹 布、废离子交换树脂、废活性炭属于危险废物,收集后暂存于 危险废物暂存间内,危废暂存间符合相关规定要求,并定期委 托有资质单位进行处置.本项目生产过程中产生的废包装材料 废电线头为一般性固体废物,统一收集后外售.生活垃圾分类 收集暂存,由环卫部门统一清运. 4.项目安装的产噪设备、设施,均应设置在密闭空间内, 且合理布局产噪设备、设施的位置,且采取有效地减震降噪措 施,确保噪声排放达到噪声功能区限值要求. 5.项目运行后,应做好各污染治理设施的运行维护工作, 确保污染物达标排放. 6.应加强环境应急管理工作, 制定突发环境事件应急预案, 做好应急物资的贮备,定期开展应急预案的演练,提升职工应 对事故的能力.加强燃气锅炉及管道输送设备、化学品存储区 的贮存管理,防止渗漏现象及火灾、容器爆炸、化学爆炸的发 生,并设专人管理.

四、本项目主要污染物排放总量控制指标为: CODcr: 0.39t/a,NH3-N:0.039t/a,SO2:0.04t/a,NOX:0.187t/a, VOCS:0.16t/a.

五、项目排放各类污染物需满足本项目环境影响报告表提 出的排放标准.

六、你单位在建设过程中,应当同时实施环境影响报告表 及本批复中提出的环境保护对策措施,需要配套建设的环境保 护设施,必须与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用.

七、建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者 防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,应当重新报 批环境影响评价文件.环境影响评价文件自批准之日起超过五 年,方决定该项目开工建设,环境影响评价文件应当报我分局 重新审核.

八、在项目建设、运行过程中产生不符合经审批的环境影 响评价文件的情形时,你单位应当组织环境影响的后评价,采 取改进措施,并报我分局备案.

九、建设项目竣工后,你单位应当按照国务院生态环境行 政主管部门规定的标准和程序,对配套建设的大气、废水、噪 声污染物的污染防治设施进行验收,编制验收报告,并依法向 社会公开验收报告;

对配套建设的固体废物污染防治设施由环 保部门进行验收.分期建设、分期投入生产或者使用的,相应 的环境保护设施应当分期验收.验收合格后方可投入生产或者 使用;

未经验收或者验收不合格的,不得投入生产或者使用.

十、你单位应按照相关法律法规规定,做好建设期和运营 期各项污染防治,由沈阳市生态环境局浑南分局监察大队负责 该项目的日常监督管理.