PDF《MKS 型号 M100B》

MKS 型号 M100B 弹性密封质量流量控制器(通用型) M100B 是一种通用的弹性密封的质量流量控制器,可在生产,分析,工业以及测试等多种应用场合测量和控制有腐蚀性气体的流 量,特别是可重复性要求高的场合.

配上合适的压力控制器,它还 可以作为压力控制器使用. 对于当今市场上的质量流量控制器,M100B 可作为直接替代的产品,标准的

3 英寸底座使 M100B 能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道.它具有模拟 通讯模式,其精度为全量程的 1%. 技术参数: 全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM, 1000SCCM, 2000SCCM, 5000SCCM, 10000SCCM, 20000SCCM, 30000SCCM, 50000SCCM(可选) 控制量程:2% to 100% 的全量程. 测量精度:全量程的 1% 灵敏度:全量程的 0.1% 热机时间:小于 2Min. 响应速度:小于 2Sec. 输入电压:±15VDC@100ma 输出电压:0-5VDC 连接器:模拟: 9Pin 或15Pin 或20Pin Card edge. 数字:RS485 或Device net 或Profibus 法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等 材质:316 不锈钢. 质保期:有限保修自售出之日起

12 个月. 例:型号 M100B00411CR1BV 校准气体(SEMI 气体编号)* 采购序列号 Helium, He

001 Argon, Ar

004 Hydrogen, H2

007 Nitrogen, N2

013 Oxygen, O2

015 校准流量 SCCM(相当氮气最大 50000)

10 11C

20 21C

50 51C

100 12C

200 22C

500 52C

1000 13C

2000 23C

5000 53C

10000 14C

20000 24C

30000 34C

50000 ** 54C 装配件(Y) (与以下兼容) Swagelok R ? 4VCR R 凸接头 R 0.25 英寸 Swagelok R S Swagelok R ? 4VCO R G 0.125 英寸 Swagelok *** P

6 mm Swagelok R ? M 阀门(1) 常闭(控制器)

1 连接器(W)

15 针D型接口 B 型号 M100B(续) 密封(Z)**** Buna N B Neoprene R N Viton R V 用于 M100B 的电缆线 CB147-1-10 用来将 M100B

15 针D型接口连接至 PR4000, 146, 186, 167,

647 CB259-5-10 用来将 M100B

15 针D型接口连接至 246,

247 *更多气体编号见附录 B **50K sccm 设备仅用于

4 VCR 和0.25" Swagelok 压缩装配件. ***0.125 英寸的Swagelok R 装配件仅用于流量小于

5000 sccm(相当氮气)的场合. ****乙炔和氯与 Viton, Neoprene 或Buna-N 不兼容,勿在 M100B 中使用 Cl2 或C2H2.