PDF《XYZ轴不锈钢平台》

E218 Manual Stages 综合信息 X轴XY轴 Z轴 XZ轴 转动平台 摆动平台 倾斜平台 十字交叉滚柱导轨 燕尾槽导轨 滑动导轨 V型导轨 其它 15mm 80mm 100mm 120mm 其它 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 65mm 60mm 40mm 25mm TSD导轨 真空用平台 XYZ轴XYZ轴不锈钢平台 (垂直) TSDS-5L 台面尺寸25/40/60/65mm 技术指标 型号 METRIC TSDS- 255CL TSDS- 255SL TSDS- 405CL TSDS- 405SL TSDS- 605CL TSDS- 605SL TSDS- 655CL-M6 TSDS- 655SL-M6 INCH - - TSDS- 405CLUU TSDS- 405SLUU - - TSDS- 655CLUU TSDS- 655SLUU 台面尺寸 〔mm〕 25*25 25*25 40*40 40*40 60*60 60*60 65*65 65*65 轴的类型 XYZ轴 微分头的安装位置 中心 侧面 中心 侧面 中心 侧面 中心 侧面 行程 〔mm〕 XY轴±3 Z轴±3 XY轴±3 Z轴±3 XY轴±6.

5 Z轴±6.5 XY轴±6.5 Z轴±6.5 XY轴±6.5 Z轴±6.5 XY轴±6.5 Z轴±6.5 XY轴±6.5 Z轴±6.5 XY轴±6.5 Z轴±6.5 行程/周〔mm/周〕 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 微分头最小读数 〔mm〕 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 导轨形式 TSD导轨 主要材料 不锈钢 表面处理 无 承载能力 〔N〕 14.7 (1.5kgf) 14.7 (1.5kgf)

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf) 移动精度 直线度 〔μm〕

1 1

1 1

1 1

1 1 最大承载力矩 俯仰 〔N・m〕 2.2 2.2 3.9 3.9 8.0 8.0 8.0 8.0 转动 〔N・m〕 2.1 2.1 3.9 3.9 8.0 8.0 8.0 8.0 扭矩刚度 俯仰 〔″ /N・cm〕 6.7 6.7 1.26 1.26 0.58 0.58 0.58 0.58 自重 〔kg〕 0.2 0.2 0.6 0.6 1.7 1.7 2.0 2.0 与TSD系列具有相同的结构和性能, 适合在超净室或真空环境使用的直动平台. 信息 ?TSDS系列是适合在超净室或真空环境中使用的直动平台. 真空度测试数 E205 最适合在不能有析出气体的狭小空间内使用. ?全部使用不锈钢材料, 耐腐蚀性能优良. ?平台本体和微分头都使用真空用润滑油脂 (YVAC2) . E219 WEB http://www.sigma-koki.com/index.php?lang=cn E-mail [email protected] TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 综合信息 X轴XY轴 Z轴 XZ轴 转动平台 摆动平台 倾斜平台 十字交叉滚柱导轨 燕尾槽导轨 滑动导轨 V型导轨 其它 15mm 80mm 100mm 120mm 其它 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 65mm 60mm 40mm 25mm TSD导轨 真空用平台 XYZ轴 外形图 W7080 目录编号 内六角螺栓 (不锈钢) M2*4…4个TSDS-255CL 内六角螺栓 (不锈钢) M2*4…4个TSDS-255SL 内六角螺栓 (不锈钢) M4*6…4个TSDS-605CL 内六角螺栓 (不锈钢) M4*6…4个TSDS-605SL 内六角螺栓 (不锈钢) M3*6…4个, 弹簧垫圈 内六角螺栓 (不锈钢) 6-32UNC*3/16…4个(UU) TSDS-405CL/405CLUU 内六角螺栓 (不锈钢) M3*6…4个, 弹簧垫圈 内六角螺栓 (不锈钢) 6-32UNC*3/16…4个(UU) TSDS-405SL/405SLUU 内六角螺栓 (不锈钢) M6*6…4个(M6) 内六角螺栓 (不锈钢) 1/4-20UNC*1/4…4个(UU) TSDS-655CL-M6/655CLUU 内六角螺栓 (不锈钢) M6*6…4个(M6) 内六角螺栓 (不锈钢) 1/4-20UNC*1/4…4个(UU) TSDS-655SL-M6/655SLUU

10 10

7 11.5

7 45±3 MAX49

25 20 (6.5)

81 57.5 MAX49 1.5

15 20

20 25

20 37.5

25 4-φ2.4安装孔 φ4沉孔 M4 深4 6-M2 深4 Z轴锁紧钮 Y轴锁紧钮 X轴锁紧钮

10 10 17.5 (7)

7 25

81 57.5 45±3

20 25 MAX41 (6.5) 9.5 MAX41

20 20 1.5

20 25 37.5 6-M2 深4 M4 深4 φ4沉孔 4-φ2.4安装孔 Z轴锁紧钮 X轴锁紧钮 Y轴锁紧钮 21.5 MAX67

55 40 A

82 62±6.5 109.5 B (9.5) B