PDF《XY轴不锈钢平台》

E208 Manual Stages 综合信息 X轴 Z轴 XZ轴XYZ轴 转动平台 摆动平台 倾斜平台 十字交叉滚柱导轨 燕尾槽导轨 滑动导轨 V型导轨 其它 15mm 80mm 100mm 120mm 其它 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 65mm 60mm 40mm 25mm TSD导轨 真空用平台 XY轴XY轴不锈钢平台 TSDS-2 台面尺寸25/40/60/65mm 与TSD系列具有相同的结构和性能, 适合在超净室或真空环境使用的直动平台.

全部使用不锈钢材料, 耐腐蚀性能优良. 平台本体和微分头都使用真空用润滑油脂 (YVAC2) . 信息 ?TSDS系列是适合在超净室或真空环境中使用的直动平台. 真空度测试数 E205 最适合在不能有析出气体的狭小空间内使用. ?固定微分头用的零件, 或微分头种类不同, 部分型号的零件最高点高出 平台台面. ?请注意, 根据装在平台上的样品的形状, 也有可能无法固定或不能确保 充分的行程. 注意 技术指标 型号 METRIC TSDS- 252C TSDS- 252S TSDS- 402C TSDS- 402S TSDS- 602C TSDS- 602S TSDS- 652C-M6 TSDS- 652S-M6 INCH - - TSDS- 402CUU TSDS- 402SUU - - TSDS- 652CUU TSDS- 652SUU 台面尺寸 〔mm〕 25*25 25*25 40*40 40*40 60*60 60*60 65*65 65*65 轴的类型 XY轴 微分头的安装位置 中心 侧面 中心 侧面 中心 侧面 中心 侧面 行程 〔mm〕 ±3 ±3 ±6.5 ±6.5 ±6.5 ±6.5 ±6.5 ±6.5 行程/周〔mm/周〕 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 微分头最小读数 〔mm〕 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 导轨形式 TSD导轨 主要材料 不锈钢 表面处理 无 承载能力 〔N〕

49 (5.0kgf)

49 (5.0kgf)

147 (15.0kgf)

147 (15.0kgf)

343 (35.0kgf)

343 (35.0kgf)

343 (35.0kgf)

343 (35.0kgf) 移动精度 直线度 〔μm〕 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 俯仰 〔″ 〕

30 30

30 30

25 25

25 25 偏摆 〔″ 〕

25 25

25 25

15 15

15 15 最大承载力矩 俯仰 〔N・m〕 3.0 3.0 3.9 3.9 6.4 6.4 8.8 8.8 转动 〔N・m〕 3.0 3.0 3.9 3.9 6.4 6.4 8.8 8.8 偏摆 〔N・m〕 1.5 1.5 2.5 2.5 4.9 4.9 4.9 4.9 扭矩刚度 俯仰 〔″ /N・cm〕 3.4 3.4 0.66 0.66 0.41 0.41 0.41 0.41 转动 〔″ /N・cm〕 3.4 3.4 0.66 0.66 0.41 0.41 0.41 0.41 偏摆 〔″ /N・cm〕 4.0 4.0 0.8 0.8 0.41 0.41 0.41 0.41 平行度 〔μm〕

50 50

30 30

30 30

50 50 移动平行度 〔μm〕

20 20

20 20

20 20

20 20 垂直度 〔μm〕

10 10

10 10

10 10

10 10 自重 〔kg〕 0.1 0.1 0.3 0.3 0.9 0.9 1.2 1.2 E209 WEB http://www.sigma-koki.com/index.php?lang=cn E-mail [email protected] TEL +81-3-5638-8228 FAX +81-3-5638-6550 综合信息 X轴 Z轴 XZ轴XYZ轴 转动平台 摆动平台 倾斜平台 十字交叉滚柱导轨 燕尾槽导轨 滑动导轨 V型导轨 其它 15mm 80mm 100mm 120mm 其它 应用系统 光学元件・ 薄膜产品 镜架 底座 手动平台 驱动装置 自动平台 光源 目录 65mm 60mm 40mm 25mm TSD导轨 XY轴 真空用平台 外形图 内六角螺栓 (不锈钢) M2*4…4个TSDS-252C 内六角螺栓 (不锈钢) M2*4…4个TSDS-252S 内六角螺栓 (不锈钢) M3*6…4个, 弹簧垫圈 内六角螺栓 (不锈钢) 6-32UNC*3/16…4个(UU) TSDS-402C/402CUU 内六角螺栓 (不锈钢) M3*6…4个, 弹簧垫圈 内六角螺栓 (不锈钢) 6-32UNC*3/16…4个(UU) TSDS-402S/402SUU 内六角螺栓 (不锈钢) M4*6…4个TSDS-602C 内六角螺栓 (不锈钢) M4*6…4个TSDS-602S 内六角螺栓 (不锈钢) M6*6…4个(M6) 内六角螺栓 (不锈钢) 1/4-20UNC*1/4…4个(UU) TSDS-652C-M6/652CUU 内六角螺栓 (不锈钢) M6*6…4个(M6) 内六角螺栓 (不锈钢) 1/4-20UNC*1/4…4个(UU) TSDS-652S-M6/652SUU