PDF《DB11》

2020 年4月1日起执行. 4.4 其他未划分时段的排放限值和控制要求等,自本标准实施之日起执行.

5 有组织排放控制要求 5.1 电子工业生产过程中,设备或车间排气筒排放大气污染物浓度执行表

1 规定的限值. 表1 排气筒大气污染物排放浓度限值 单位:mg/m3 序号 污染物项目 排放浓度限值 监控位置 第Ⅰ时段 第Ⅱ时段

1 颗粒物

10 车间或生产设施排气筒

2 氯化氢

10 3 氮氧化物a

50 4 硫酸雾 5.0

5 氰化氢 b 0.5

6 氟化物(以F计)c 3.0

7 氯气 d 3.0

8 氨10.0

9 苯1.0 0.5

10 甲醛 5.0

11 苯系物 e

15 8

12 非甲烷总烃(NMHC)

20 10

13 铅及其化合物 f 0.1

14 锡及其化合物 g 1.0 a 适用于电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业的硝酸酸洗工艺. b 适用于印制电路板和半导体器件工业企业. c 适用于电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业. d 适用于电子专用材料、半导体器件和显示器件及光电子器件工业企业. e 苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯. f 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业. g 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板、半导体器件和电子终端产品工业企业. 5.2 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置除满足表

1 规定的限值外,还需对排放烟气中的氮氧化物、二f 英类进行控制,达到表

2 规定的限值. DB11/ 1631―2019

6 表2 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置氮氧化物和二f英类排放限值 单位:mg/m3 序号 污染物项目 排放浓度限值 第Ⅰ时段 第Ⅱ时段

1 氮氧化物

100 2 二f英类 a 0.1 ng-TEQ /m3 a 燃烧含氯有机废气时,需监测该指标. 5.3 进入 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应的,排气筒中实测 大气污染物排放浓度,应按公式(1)换算为基准含氧量为 3%的大气污染物基准排放浓度,并以基准 排放浓度作为达标判定依据.进入 VOCs 燃烧(焚烧、氧化)装置中废气含氧量可满足自身燃烧、氧化 反应需要,不需另外补充空气的(燃烧器需要补充空气助燃的除外),按排气筒中实测大气污染物浓度 作为达标判定依据,但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量. 1) 式中: ――大气污染物基准排放浓度,mg/m3 ;

――干烟气基准含氧量,%,取值为3;

――实测的干烟气含氧量,%;

――实测大气污染物排放浓度,mg/m3 . 5.4 非燃烧(焚烧、氧化)类废气处理装置的排放口以实测浓度作为达标判定依据. 5.5 排气筒高度应按环境影响评价要求确定,且应不低于 15m.排气筒排放氯气、氰化氢两种污染物 中任一种或一种以上时,其高度应不低于 25m. 5.6 当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时,应在废气混........