PDF《光栅尺工作原理》

光栅尺工作原理 光栅尺是通过摩尔条纹原理,通过光电转换,以数字方式表示线性位移量 的高精度位移传感器.

光栅尺是由读数头、主尺和接口组成.玻璃光栅上均匀地 刻有透光和小透光的线条,栅线为

50 线对/mm,其光栅栅距为 0.02mm,采用四 细分后便可得到分辩率为 5μm 的计数脉冲.一般情况下,线条数按所测精度刻 制,为了判别出运动方向,线条被刻成相位上相差 90°的两路.当读数头运动 时,接口电路的光电接收器分别产生 A 相和 B 相两路相位相差 90°的脉冲波.输 出信号再经过数显系统细分处理,分辨率是光栅周期除以信号细分数,经过电子 信号细分处理分辨率可为 5um 或1um 光栅位移传感器的工作原理,是由一对光 栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示光栅)进行相对位移时,在光 的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间(或明暗相间)的规则条纹图形,称之为 莫尔条纹.经过光电器件转换使黑白(或明暗)相同的条纹转换成正弦波变化的 电信号,再经过放大器放大,整形电路整形后,得到两路相差为 90o 的正弦波或 方波,送入光栅数显表计数显示.