PDF《热处理参数对溶胶 ！ 凝胶法制备 氧化锌薄膜特性的影响 ！》

热处理参数对溶胶!凝胶法制备 氧化锌薄膜特性的影响! 宋永梁 季振国! 刘坤王超向因叶志镇 (浙江大学硅材料国家重点实验室, 杭州 "#$$%&) (%$$" 年'月## 日收到;

%$$" 年(月%# 日收到修改稿) 采用溶胶)凝胶旋涂法在 *+ (###) 衬底上生长了 ,-.

薄膜, 并用荧光光谱、 原子力显微镜和 /01 对,-. 薄膜样 品进行了分析2结果表明, 溶胶)凝胶旋涂法制备的 ,-. 薄膜为纤锌矿结构, 其!轴取向程度与热处理温度有很大 的关系2当热处理温度小于 (($3时, 氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰, 而可见波段的发射很弱;

当 热处理温度高于 (($3时, 可见波段发射明显增强2对经过不同时间热处理的 ,-. 薄膜样品分析表明, 氧化锌薄膜 的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系, 时间过短可见波段的发射较强, 但时间过长会导致晶粒发生 团聚, 导致紫外发射峰强度减弱2 关键词:,-. 薄膜,光致发光 "#$$:&4((5,&4'$6,&"7$8 ! 国家重点基础研究专项 (9:2 6%$$$ $74")$7) 和国家自然科学基金重大项目 (批准号: ;

$%$#$"4) 资助的课题2 ! 5):