编辑: 阿拉蕾 2019-07-06

1975 年袁 后经全球多家科研院所尧公 司的研究和生产实践袁特别是近年来袁随着液晶面 板PECVD 设备厂商的加入袁使得非晶硅薄膜电池 的研究日益突飞猛进遥

1 在我国申请的非晶硅薄膜电池专利分析 1.1 发明专利检索说明 在本次对非晶硅薄膜电池进行的检索中袁主要 使用了按关键词野非晶硅冶尧野薄膜冶和野电池冶尧专利 申请人与分类号等高级检索方式相结合的方式袁 检索具有一定的局限性袁在专利数据库中袁由于非 晶硅薄膜电池在太阳能电池之中与其他类型件相 比袁其数量相对较小袁在检索过程中会检索到相当 数量与薄膜或非晶硅有关而又不属于非晶硅薄膜 电池的专利袁为了不漏掉非晶硅薄膜电池专利袁共 检索了

1538 项相关专利遥 为了尽可能保证专利数 量的准确性和完整性袁 需要从中将属于非晶硅薄 膜电池方面的专利挑选出来袁 在检索查阅的过程 中袁不免在选择中会出现一些判断不准尧分类不准 等现象袁但我们认为不会影响整体专利趋势的遥 由于非晶硅薄膜电池的发展过程袁是通过提高 非晶硅薄膜电池的转换效率尧 降低非晶硅薄膜电 池衰减尧优化非晶硅薄膜电池生产效率和设备尧增 安阳工学院学报

2011 年 安阳工学院学报 加非晶硅薄膜电池使用范围来进行的袁 因此本次 分析的专利袁是按照非晶硅薄膜电池的制造方法尧 非晶硅薄膜电池结构尧 非晶硅薄膜电池生产设备 及其他来进行分类遥 在此需要说明的是院尽管这次 是按照方法尧结构尧设备和其他来进行的分类袁但 这些专利往往同时涉及多个类别袁 分类时是按照 其主要内容进行分类的遥 本次检索分析的专利都是在中国国家知识产 权局上检索到的发明专利袁 对实用新型没有进行 统计尧分类和分析遥 同时袁本次检索分析的专利袁是 在国家知识产权局进行了申请和公开的发明专 利袁由于分析关注于技术发展的趋势和方向袁因此 没有过多注意其是否得到授权或无效遥 1.2 在中国申请的非晶硅薄膜电池发明专利分析 我国对于非晶硅薄膜电池方面的专利起始于

1995 年的深圳李毅袁其发明的专利名称为叶内联式 非晶硅太阳能电池及制造方法曳袁主要申请授权对 一种非晶硅薄膜电池的制造方法的保护袁 其工艺 方法为院 选择玻璃-制造复合透明导电膜-丝印正 电极保护膜-腐蚀导电膜-去除保护膜, 清洗干燥- 沉积非晶硅薄膜-激光刻划非晶硅层-真空镀铝- 激光刻铝-印背漆字符-印可焊电极-切割测试包 装入库遥 从1996 年到

2002 年袁中国专利中涉及非 晶硅薄膜电池的专利几乎为零袁 而绝大部分是涉 及非晶硅薄膜晶体管器件的专利袁 这也看出当时 非晶硅薄膜电池由于受到种种原因袁 而不被世人 所看好遥 在中国申请的非晶硅薄膜电池专利真正发展 于近几年遥 随着国际上对绿色清洁能源需求的日 益提高袁 非晶硅薄膜电池以其所具有的优点而重 新被世人所关注袁 在晶硅电池市场启动并蓬勃发 展的过程中袁国内众多院校尧公司和个人纷纷加入 到研究非晶硅薄膜电池的行列中袁 图1是近年来 各公司尧 院校在中国申请的发明专利数量变化趋 势图遥 图1在中国申请的发明专利数量变化趋势图 从2003 年到

2007 年这五年袁非晶硅薄膜电池 发明专利数量快速增加袁 年增长率超过 50豫袁至

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