PDF《D07 – 60G/60GM 型》

D07 C 60G/60GM 型 质量流量控制器/流量计 使用手册2015 .

12 目录1. 用途和特点…1 6. 注意事项

16 2. 主要技术指标…2 6.1 禁用流量介质

16 3. 结构和工作原理…3 6.2 使用腐蚀性气体问题 ………………

16 3.1 结构…3 6.3 阀口密封问题

16 3.2 工作原理…3 6.4 阀控操作注意

17 4. 安装和接线

4 6.5 安装位置问题

17 4.1 外形及安装尺寸…4 6.6 注意工作压差

17 4.2 气路接头形式…9 6.7 标定和不同气体的换算 ……………

17 4.3 连接电缆插头…10 6.8 D07-60G、60GM 标准订单填写格式

18 4.4 与计算机信号的连接………………

11 7. 故障判断和处理

21 4.5 调零和外调零…13 8. 保证、 保修与服务…23 5. 使用方法和操作步骤 ………………

14 8.1 产品保证和保修.23 5.1 质量流量控制器的操作……………

14 8.2 保修对使用的要求.23 5.1.1 开机操作…14 8.3 服务.23 5.1.2 清洗功能…15 9. 附录.25 5.1.3 显示仪与计算机连接的操作……

15 9.1 气体质量流量转换系数 ……………

25 5.1.4 直接与计算机连接的操作………

15 9.2 转换系数使用说明 …………………

27 5.1.5 阀控功能…15 5.1.6 关机操作…15 MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER 第1页共27 页 质量流量控制器和质量流量计 使用手册1. 用途和特点 质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量;

质量流 量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领 域的科研和生产中有着重要的应用.其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;

以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气 配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器. D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳 定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置 安装, 并便于与计算机连接实现自动控制. D07-60G 型质量流量控制器和质量流量计均为 24V 单电源供电,一般与我公司 D08-1K 型 流量显示仪配套使用, 控制控制器与显示之间用专用电缆连接(如图

1 所示). 图1. 质量流量计与流量显示仪配套使用 2. 主要技术指标: 表1. D07-60G 型MFC 性能指标 第2页共27 页 编号 项目D07-60G D07-60GM

1 流量规格 300,500,750,1000,1500,2000SLM

2 准确度 ± 2% F.S.

3 线性 ±1% F.S.

4 重复精度 ±0.2%F.S.

5 响应时间 <

10 sec

6 工作压差范围 (0.25 ~ 0.5) MPa (≤1000SLM) (0.4 ~ 0.6) MPa (>1000SLM)