PDF《精益求精》

9 12 ?7.7 ?8f7 ?13.7 ?14h7 18.5

22 connector side

6 探头类型 CS3 CS5 CS10 产品编号

6610055 6610056

6610057 线性量程 标准 3mm 5mm 10mm 绝对误差 DT6530 1.5?m 2.5?m 5?m DT6110 1) 6?m 5?m 20?m 分辨率 (静态) DT6530@2Hz 2.25nm 3.75nm 7.5nm DT6110@25Hz 300nm 500nm 1?m 分辨率 (动态) [email protected] 60nm 100nm 200nm DT6110@1kHz 450nm 750nm 1.5?m 零点温度稳定性 4) 170nm/°C 170nm/°C 170nm/°C 温度灵敏度 -32ppm/°C -32ppm/°C -32ppm/°C 工作温度 -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C 存储温度 -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C 允许空气湿度 2)

0 … 95% r.H.

0 … 95% r.H.

0 … 95% r.H. 探头尺寸 ?30 * 24mm ?40 * 24mm ?60 * 24mm 有效测量区域 ?9.8mm ?12.6mm ?17.8mm 屏蔽环厚度 8mm 11.6mm 19mm 被测物体最小直径 ?27mm ?37mm ?57mm 重量 70g 95g 180g 壳体材料 1.4404 (非铁磁性) 1.4404 3) (非铁磁性) 1.4404 3) (非铁磁性) 接线方式 B 型B型B型固定方式 径向装夹 径向装夹 径向装夹 1) 如特殊要求加'

OPTION'

,线性度可提高一倍 2) 无冷凝现象发生 3) 可选用钛合金材料 4) 探头需安装在装卡区域中部 带内孔插头的圆柱形探头 capaNCDT ?40h7 ?20h7 16.5

24 -0.2 connector side ?60h7 ?20h7 16.5

24 -0.2 connector side ?30h7 ?20h7 16.5

24 -0.2 connector side

7 探头类型 CSG0,50-CAm2,0 CSG1,00-CAm2,0 产品编号

6610112 6610111 线性量程 标准 0.5mm 1mm 间隙宽度 1) 0.9 - 1.9mm 0.9 - 2.9mm 绝对误差 2) 0.5?m 1?m 分辨率 2) (静态, 2Hz) 4nm 8nm 分辨率 2) (动态, 8,5kHz) 90nm 180nm 零点温度稳定性 50nm/°C 50nm/°C 温度灵敏度 -40ppm/°C -40ppm/°C 工作温度 -50…+100°C -50…+100°C 存储温度 -50…+100°C -50…+100°C 允许空气湿度 3) 0…95% 0…95% 探头尺寸

200 x

15 x 0.9mm

200 x

15 x 0.9mm 有效测量区域

3 x 4.3mm 4.2 x 5.1mm 屏蔽环厚度 2.7mm 2.2mm 被测物体最小直径 约7 x 8mm 约8 x 9mm 重量 77g 77g 壳体材料 1.4301 1.4301 探头材料 FR4 FR4 整体电缆 2m 2m 1) 探头厚度 + 两端线性量程 2) 本探头仅可以与控制器DT6530配合使用 3) 无冷凝现象发生 带插头的扁平探头 ?7 ?9.5

37 27 20.5 30.5

25 ?7 ?10 B/90 型插头 B 型插头

200 216 9.9

15 20.2

1 R

2 探头结构 厚度 0,9-0.05 4.2 6.2 3.85 4.4 2.9 4.2 4.5 5.4 4.2 6.2 3.85 4.4 2.9 4.2 4.5 5.4

8 扁平探头固定方式 扁平探头可以通过M2螺纹孔进行安装(针对CSH02FL和CSH05FL探头)或通过M2螺栓穿过通孔安装.探头可以从上面或 下面安装. ?2.2 ?7 ?9.5 电缆长度 1.4m 探头

37 27 集成电缆的插头 从上往下安装探头 从下往上安装探头 带集成电缆的扁平探头 capaNCDT 探头类型 CSH02FL-CRm1,4 CSH05FL-CRm1,4 CSH1FL-CRm1,4 CSH1,2FL-CRm1,4 CSH2FL-CRm1,4 产品编号

6610075 6610085

6610072 6610077

6610094 线性量程 标准 0.2mm 0.5mm 1mm 1.2mm 2mm 绝对 误差 DT6530 0.1?m 0.25?m 0.5?m 0.6?m 1?m DT61101) 0.4?m 1?m 2?m 2.4?m 4?m 分辨率 (静态) DT6530@2Hz 0.15nm 0.38nm 0.75nm 0.9nm 1.5nm DT6110@25Hz 20nm 50nm 100nm 120nm 200nm 分辨率 (动态) [email protected] 4nm 10nm 20nm 24nm 40nm DT6110@1kHz 30nm 75nm 150nm 180nm 300nm 零点温度稳定性 4) -37.6 / 2.4nm/°C -37.6 / 2.4nm/°C -37.6 / 2.4nm/°C -37.6 / 2.4nm/°C -47 / 4nm/°C 温度灵敏度 -12ppm/°C -12ppm/°C -12ppm/°C -12ppm/°C -12ppm/°C 工作温度 -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C 存储温度 -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C -50 … +200°C 允许空气湿度 2)