PDF《装备制造》

装备制造

2019 年7月4日星期四 主编 / 赵广立 编辑 / 田瑞颖 校对 / 何工劳 Tel: (010)

62580722 E-mail押glzhao@stimes.

cn

8 社址院北京市海淀区中关村南一条乙 猿号邮政编码院员园园19园 新闻热线院园员园原62580699 广告发行院园员园原62580666

62580707 传真院园员园原62580899 广告经营许可证院京海工商广登字

20170236 号 零售价院1援5园元年价院288 元 工人日报社印刷厂印刷 纵览 本报讯

6 月28 日, 为巴基斯坦卡拉 奇核电项目生产的 K3# 稳压器产品在 哈电集团 (秦皇岛) 重型装备有限公司成 功发运,标志着由哈电重装承制的巴基 斯坦卡拉奇项目产品全部完成交货. 卡拉奇项目稳压器是我国出口 华 龙一号 核电机组的重要组成部分, 它 是对一回路压力进行控制和超压保护 的重要设备, 采用立式电加热式, 结构 呈钟罩形, 总长度约

14 米, 总重量约

104 吨;

上封头顶部设有

5 支阀门接 管、

1 支喷雾头接管及

1 支人孔座;

底 部设置

80 余根电加热元件及

1 支波 动接管.哈电重装先后攻克了封头及 筒体内壁堆焊、封头电加热套管冷装 孔加工、 电加热元件装配及焊接等技术 难点, 为稳压器产品顺利发运奠定了坚 实基础. 据了解, 历时

5 年时间, 哈电重装 公司成功为 华龙一号 首台出口巴基 斯坦的 K

2、 K3 核电项目提供全部核岛 主设备蒸汽发生器、稳压器、 PRS 换热 器、 PCS 换热器、余热排出热交换器等 产品.几年来, 哈电重装依托传统制造 工艺, 通过自主研发、 技术引进和创新、 设计工艺优化等多种方式, 形成了一整 套 华龙一号 的配套装备和技术储备, 重点突破了蒸汽发生器管板镍基合金 堆焊、 管束组件制造、 管子―管板胀焊 技术、 管子压痕预防技术、 水平支承连 接板焊接及防变形技术等关键技术, 实 现了设计、 制造全部国产化, 具有完整 自主知识产权, 达到了三代核电先进技 术水平. 卡拉奇项目产品的整体完工, 是哈 电公司在 一带一路 建设中践行中国 核电 走出去 的重要体现, 为提高中国 核电装备制造产业的整体制造水平和 拓展海外核电装备市场将产生积极而 深远的影响. (高长安 王继军) 吴志生: 为中药制造把一道质量关 姻本报见习记者 田瑞颖 人们探索世界的尺度越来越精细, 微电子器件的应用也更加显示出其优 越性.例如, 芯片上可集成的晶体管数 越来越多, CPU 的计算速度越来越快, 功耗也极大的降低. 随着半导体器件的尺寸逐渐逼近 摩尔定律的极限, 在纳米尺度下如何看 清这些器件芯片上的微结构, 如何对器 件的尺寸进行精确检测;

在纳米计量研 究领域如何对纳米标准颗粒、标准线 宽、线纹尺等标准样品进行计量标定 等, 都面临精确测量的问题.具备高精 度和低误差的可溯源计量型扫描电子 显微镜(以下简称可溯源计量电镜) 可 高效完成上述任务. 中国科学院电工研究所联合中国 计量科学研究院、 国家纳米科学中心共 同构建了国内首台可溯源计量电镜, 实 现了微纳米器件及标准物质等纳米尺 度的高精度长度计量测量功能, 以及对 样品扫描成像的纳米尺寸量值溯源.该 装备可有效减少电子束扫描成像过程 中放大倍率波动和扫描线圈非线性特 征在纳米尺度测量中产生的误差. 消灭 扫描电镜在 可溯源计量中的误差 溯源计量电镜的成像原理与普通 扫描电镜相同, 都是利用聚焦成纳米尺 寸的电子探针与被检测样品浅层原子 发生碰撞, 产生二次电子信号, 通过对 二次电子信号进行放大处理及检测, 从 而实现微观成像. 普通扫描电镜通过调整放大倍率 改变扫描范围,通过偏转电子束获得扫 描图像. 中国科学院电工研究所高级工程 师殷伯华对 《中国科学报》 表示, 影响扫描 电镜图像放大倍率准确性的因素很多, 如 加速电压波动、偏转扫描非线性特征、 图 形漂移等, 这些因素最大可导致普通扫描 电镜放大倍率的误差达到 5%~10%, 尺寸 测量的不确定度难以评价. 值得一提的是, 可溯源计量电镜与 普通扫描电镜偏转电子束扫描的成像 方式不同. 中国科学院电工研究所研究员韩 立提出, 在可溯源计量电镜中, 用纳米位 移台的步进扫描方式进行成像. 同时, 可 溯源计量电镜引入激光干涉仪作为位移 台的测量工具, 可以实现高精度可溯源的 微纳米结构尺寸测量, 是半导体器件尺寸 检测过程中必不可少的仪器. 具体地说, 可溯源计量电镜的新颖 性在于保持电子束斑不动的前提下, 在 纳米位移台逐点位移的过程中, 通过实 时采样二次电子图像信号方法获取扫 描图像.同时, 每个像素点对应的纳米台 位置坐标从激光干涉测量系统中获取. 这种成像方法使图像的像素点位置与激 光干涉仪的测量结果直接相关, 实现了纳 米尺寸测量的量值溯源. 韩立表示. 这样获得的显微镜图像中, 每个像 素点都对应一个激光干涉仪测量获得的 精确位置坐标. 随后在测量图像中的样 品尺寸时, 直接对指定像素位置坐标进行 计算, 即可获得样品的精确尺寸, 因此扫 描电镜扫描范围的波动等误差不会影响 测量结果. 韩立告诉 《中国科学报》 . 基于此, 研究团队先后研制了