PDF《政府采购项目需求方案》

747 号 联系人:杨先生 联系方式:0531-66680291 2.采购代理机构:山东新世纪招标有限公司 联系人:刘认 电话(传真):0531-69982888-615 地址:济南市奥体中路

4267 号 技术参数 设备名称 详细技术要求 数量 提拉炉 1.炉体:炉膛内径

600 mm,高900 mm,门宽 350mm.?内壁

316 钢厚度不小于 6mm、外壁

304 钢厚不小于 4mm, 带一个感应加热线圈 直径

250 mm,?侧开门,门上有一长条型观察孔(宽75mm), 可以在 真空或惰性气体保护下工作,进、出气针阀(?2 孔径), 底座高

500 mm. 2. 控制系统:全自动控制系统控制晶体生长,采用上称重方法来 控制晶体直径,称重传感器量程≥20 公斤,籽晶提拉速度和转速控制 稳定,控温反馈可选热电偶或功率. 3. 软件要求:晶体形状可随意设计,PID 及运动参数可随晶体形 状过渡变化,屏幕上数据交叉显示提供生长过程中数据综合分析工具, 可以方便查找历史数据画出各生长参数曲线;

4. 真空系统:机械泵 8L,真空压力可达 10-3Pa 5.晶体提拉装置:采用进口滚珠丝杠,螺距

5 mm.有效提拉行程

450 mm, 晶体提拉采用细分步进电机系统,减速机速比为 1:28,提拉 运动最小线速度≤0.1 mm/hr.最大线速度

160 mm/min,? 提拉运动有 限位开关,籽晶转动采用细分步进电机系统,或直流力矩电机,转速 2-30rpm, 称重室与炉体真空连接, 位置编码器(精度 0.05mm) 6.中频电源功率:高精度电源,功率不小于 35kW 7.制冷系统:采用双回路闭环制冷系统,制冷机回路和提拉炉回路 分离,均连接水箱.制冷机制冷量 10-20kW,水箱≥500L,PVC 管及软 管链接. 8.服务:负责整套设备安装到位,并负责调试及相应的培训.保修 期至少

1 年.

1 铂金坩埚 高纯 99.95%,外径 150mm,外高度 100mm,壁厚 1mm,底厚 1.5mm;

坩埚上沿焊接两个相对的铂金丝(直径 2mm)挂口,铂金重量约

2 公斤;

后期会根据实验结果重新设计坩埚外形. 1