PDF《超高纯工艺（FC-03）》

编辑： Cerise银子 2019-07-08

? 清洗完成后,在洁净室内,采用密闭式烘箱干燥;

? DI水的技术指标符合如下标准: ? SEMI E49.6,用于丌锈钢系统的子系统组装和测试流程的指南 FKG-16-TI-0003-CH

3 表3 DI水的参数表 特性 性能 电阻率 ≥17.5 MΩ ?cm (25° C /77° F) 总有机碳(TOC)

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