PDF《致力于运动科学》

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aerotech.com 致力于运动科学 超高精度多轴运动系统 表面量测运动系统 [SMP] C Z RR 球面量测 非球面量测 圆柱量测 TT C Z RR TT C Z 更大的灵活度 ? 2D 与3D 轮廓运动 - 量测球面, 非球面, 与圆柱结构 (例如. 精密光学组件量测) - 扫描或点对点位移 - 提供多种不同构型 ? 泛用高速接口提供传感器与运动控制器高 速通讯 ? 开放式软件可简易集成多种传感器如: 白光 干涉仪, 多波长干涉仪, 视觉系统, 或电容式 量表. ? 简易使用, 先进运动控制算法简化轨迹产生 时间. 超高精度 ? 各轴具纳米等级之重复定位精度 ? 纳米等级之最小位移量 (分辨率) ? 于低速运动时仍具极端平滑的运动 降低量测时间 ? 相对于传统直角坐标运动系统节省高达 40%之量测时间 ? 实时之传感器与运动控制器之通讯提供量 测数据与位置数据之同步与分析 ? 量测时可高速取得量测数据并具智能型数 据管理工具 最小化机台尺寸 ? 60% 相对于传统直角坐标运动系统 使用Aerotech表面量测系统 (SMP) 提升表面量测科技至新的世代! SMP为完整多轴运动系统, 特别设计以提供表面量测应用完美运动平台. SMP将2D与3D轮廓运动进行了优化, 更高的定 位精度, 并具有纳米等级的分辨率, 大幅降低量测时间与设备体积. Aerotech'

s 表面量测系统 SMP 系统优势

2 C Z RR 球面 非球面 圆柱结构 TT C Z RR TT C Z 常见表面量测应用

3 Aerotech领先业界的SMP系统 可产生最高端之表面轮廓图面. 真实表面轮廓图面

4 Z TT C RR 轴名称 C RR Z TT 分辨率 0.01 arc sec

1 nm

2 nm 0.01 arc sec 定位精度 ±2 arc sec ±0.5 μm ±0.5 μm

3 arc sec 重复定位精度

1 arc sec ±100 nm ±100 nm 1.5 arc sec 真直度 ±0.5 μm ±1 μm 平面度 ±0.5 μm ±1 μm 轴向误差 (Axial Error)

100 nm 径项误差 (Radial Error)

250 nm 偏摆误差 (Tilt Error) 0.5 arc sec 有效行程 360° continuous

150 mm

50 mm 180° 最高速度 3000°/s

300 mm/s

200 mm/s 120°/s 各别轴技术指标 SMP 系统详细数据: 最大工件尺 寸/质量:

320 mm 直径;

12 kg 最大传感器质量:

1500 g 传感器移动轴 (RR, Z 与TT 轴): 所有传感器位移 轴均为直驱, 无刷 直线电机驱动轴. 工件位移轴 ( C轴): 360°连续旋转位 移, Aerotech高精 度空气轴承旋转 平台

5 Aerotech 操作者接口 Aerotech 的操作者界面可进行 客制化以符合任何量测应用之 需求, 因此使用者可以快速有 效率的开发客制化解决方案. 位置同步输 (PSO) Aerotech 之位置同步输出功能 提供根据实时位置反馈之数字 输出, 最高可至三轴. 提高精 密传感器信息之数据撷取. 搭配SMP系统之高新科技控制与驱动软硬件 理想触发位置 Aerotech 触发位置 根据命令之触发位置 触发误差 校正后资编码器位置

25 125 517.2

50 B B

425 172.8

72 A 87.5 112.5 ABL 电机/反馈 ABRS 电机/反馈 ABL 空气供给 ABRS 空气供给 选配之真空供给 配重之空气供给 配重 节流阀

25 供客户使用端 ABRS(C AXIS) 连续

360 旋转 ABL R [150 mm] 行程 ANT-R(TT AXIS)

180 旋转 选配 回转接头 (ROTARY UNION)

75 B.C.

70 B.C.

50 B.C. 60° TYP 30° TYP M5X0.8 THD. (3) PLACES AS SHOWN M3X0.5 - 6H

3 (12) PLACES AS SHOWN 细节 A 标尺

1 :

7 410 C SECTION B-B 标尺

1 :

14 15.00° TYP 15.00° TYP 228.1 桌面 (TABLETOP)

210 B.C.

175 B.C.

150 B.C.