PDF《PILine线性平台》

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11.2018 带超声波压电电机的紧凑型线性平台 精密级线性定位平台 PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用.关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定.因而可大大减少能量 消耗和热量产生.蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点.轴的位置通过一个编码器和一个光学参考 开关测量,该开关允许可靠的可重复运动.压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制. PILine超声波压电电机 作为PILine超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子 .在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振.促动器的变形使耦合元件 相对于转子产生周期性的对角运动.建立的进给为几纳米每循环;

高频率带来高速度.在压电陶瓷促动器上相对于动 轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁. 增量编码器用于高精度位置测量 非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置.非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响. 应用领域 显微操纵、自动化、生物科技、样本操纵、样本定位、有限空间内的应用、真空应用可达10 -6 百帕(可选). U-523 PILine线性平台 ? 快速定位 ? 节省空间,重量轻巧 ? 高导向精度 ? 传感器分辨率高达10 纳米 ? 自锁,静止状态下无热量产生 ? 低噪音操作 05.11.2018 规格 运动 U-523.25 单位 公差 主动轴 x 行程

22 毫米 速度

200 毫米/秒 最大 机械特性 U-523.25 单位 公差 Z向负载能力

5 牛 最大 不含电缆的质量

70 克 线性导向 具有防蠕动系统的交叉滚柱轴承 驱动特性 U-523.25 单位 公差 驱动类型 PILine超声波压电电机,性能级别1 标称力

2 牛 典型值 保持力

2 牛 典型值 定位 U-523.25 单位 公差 集成传感器 光学,增量传感器,正弦/余弦 传感器分辨率

10 纳米 最小位移 0.1 微米 典型值 参考点开关 方向感应光学参考点开关 其他 U-523.25 单位 公差 工作温度范围

0 到40 °C 湿度 20C90%相对湿度,无凝结 材料 铝,阳极氧化致黑 电机/传感器连接 Sub-D 15针(公头) 电缆长度 1.5 米 推荐电控 C-867.1U C-867.1U的技术数据为室温(22±3 °C)下参数. 询问定制版本. 05.11.2018 图纸/图片 U-523,尺寸单位为毫米 订购信息 U-523.25 PILine线性平台,紧凑型设计,22 毫米 行程,2 牛驱动力,10 纳米传感器分辨率 配件 U-600.A01 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,1 米U-600.A03 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,3米U-600.A05 用于PILine的延伸电缆,Sub-D15针,5米