PDF《福建省国家重点监控企业》

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1 ― 福建省国家重点监控企业 自行监测方案 企业名称: 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 所在设区市: 厦门市翔安区 2018-05-10 版本号:0507101440 ―

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一、企业概况 我司基本信息如下所示: 表1企业基本信息 企业名称 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 地址 厦门市翔安区万家春路

899 号 法人代表 尤朝生 环保负责人 王艳娟 手机

18150883028 企业规模 中一型 投产时间 2016-06-12 所属行业 [3963]集成电 路制造 生产周期

365 占地面积(万m2) 25.

5 职工人数(人)

1036 生产工艺及产、排污情况 芯片生产可简要概括为三大步骤: 步骤一:在晶片上形成薄膜,薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属(铜、 钽、钨、铝等)等,成膜工艺包括:热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积;

步骤二:将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上,在薄膜上形成需要的 器件图形或线路沟槽,工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术;

步骤三:在上述基础上进行器件加工和线路连接,工艺包括:扩散、离子注入、 金属化等. 产、排污情况见右图. 版本号:0507101440 ―

3 ― 生产工艺图 污染处理设施建设、运行情况 公司废水、废气、噪声均建设有配套的污染防治设施,建设情况符合 三同时 要求,且已通过阶段性(第一阶段)验收,运行正常. 1.生产废水主要为:含磷废水、含氨废水、含氟废水、含铜废水、综合废水等. 配套建设废水处理设施主要包括:含磷废水处理系统、含氨废水处理系统、含 氟废水处理系统、含铜废水处理系统、中和处理系统.处理达标后与生活污水通 过总排口排入翔安污水处理厂. 2.废气处理设施主要包括:酸性废气处理系统、碱性废气处理系统、酸碱性废 气处理系统、酸腐蚀性废气处理系统、有机废气处理系统、废水站一般废气处理 系统、废水站氨氮系统废气等

20 套设施,即20 根废气排气筒.但其中包含备用 设施

4 套,只在同型设施异常时开启,故正常状态下运行设施计

16 套. 另外公司有备用天然气锅炉一台,平常不开启,仅在热泵能力不足时才开;

且 其功率 4.1KW,根据监测指南要求,不属于主要污染源,公司环评文件中亦未对其 监测频次进行要求,故本方案中不含锅炉. 版本号:0507101440 ―

4 ― 同时公司工艺尾气中的砷烷、磷烷废气经过机台端废气处理装置处理(处理效 率99%)后排放,因目前省内无检测公司有检测砷烷、磷烷的资质,故本方案中亦不 含砷烷、磷烷废气. 污染物排放方式及排放去向 工业废水及生活污水:间接排放,污水处理站处理达标后排入翔安污 水处理厂 废气:直接排放,处理达标后通过 42m 烟囱排放 工业固体废物或危险废物:统一收集后给资质单位处置 版本号:0507101440 ―

5 ― 表2企业环评/验收信息 序号类型 批复/验收日期 批复/验收文号 批复/验收部门

1 环评批复 2015-04-27 厦环评 〔2015〕23 号 厦门市环境保护局

2 环评批复 2016-02-24 厦环函 〔2016〕93 号 厦门市环境保护局

3 环评验收 2017-05-03 厦环翔验 [2017]037 号 厦门市环境保护局 翔安分局 版本号:0507101440 ―

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二、企业监测能力 我司对污染物开展自行监测的具体情况如下: 表3自行承担监测情况 实验室办公用房数