PDF《关于提名 2018 年辽宁省“兴辽英才计划”的公示》

关于提名

2018 年辽宁省"兴辽英才计划"的公示 团队名称:硅片集成传输系统研发和示范应用高水平创新团队

一、提名意见 项目团队承担了国家科技重大专项 "极大规模集成电路制造装备 及成套工艺"专项"硅片集成传输系统研发和示范应用"课题研发任 务工作.

团队攻克了高洁净真空、动态偏差检测与修正、多工艺腔应 用、智能调度控制系统、平台设备可靠性等共性技术难题;

完成了大 气预对准装置、传输腔 TM、缓冲腔 LLM、EFEM、真空机械手、大气机 械手产品的开发,搭建了真空技术研发、动态偏差检测模拟测试、传 输性能测试、硬件控制及安全保护功能模拟、面向刻蚀机的 EFEM 综 合性能测试、平台系统板卡综合调试、硅片冷却系统测试、智能调度 控制系统模拟等多个研发和测试平台, 并在北方华创科技集团股份有 限公司实现了示范应用, 为半导体整机设备商提供了定制化的集成传 输平台解决方案.

二、创新团队主要成员 李学威、张锋、宋吉来、谭学科、陈为廉、杜振军、李邦宇、刘 世昌、杨奇峰、何书龙. 综上,提名该项目团队申报

2018 年辽宁省"兴辽英才计划"之 "高水平创新创业团队培养引进计划"创新团队. 沈阳新松机器人自动化股份有限公司

2018 年6月18 日