PDF《申报指南 》

(二) 考核指标. 1. 固态量子芯片包含不低于

50 个量子比特,其平均退 相干时间(弛豫时间)不低于

20 微秒.单比特门保真度不 低于 99.9%,两比特门保真度不低于 99%.2. 自主研发的测

9 控仪表为模块式结构,模拟带宽不低于 300MHz,采样率不 低于 1GS/s, 通道数不低于

100 个. 3. 开发出 2~3 种具有量 子加速优势和潜在应用价值的量子算法.4. 在包含

50 比特 的超导量子芯片上,针对所开发的量子算法,实现对特定量 子多体物理问题的求解,其计算能力力争超越商用经典计算 机. 资助强度:6000 万元左右/项. 申请方式:竞争择优. 专题三:电子束曝光机研制(专题编号:0327)

(一) 研究内容. 重点研发具有自主知识产权的电子束曝光系统,主要包 括:1. 以AD/DA 板卡和独立扫描电子束图形发生器为基础 的可配套扫描电子显微镜使用的初级电子束曝光系统. 2. 以 独立研制电子枪及电子光学系统为基础的最高加速电压不 低于 50kV 的专业电子束曝光机.着重攻关电子束曝光机所 涉及关键核心技术,包括研发用于电子束曝光机的高能场发 射电子枪,针对高能电子束曝光应用的电子光学系统,高速 电子束束闸,高速稳定的电子束矢量扫描系统,大范围写场 拼接所需要的高精度激光干涉样品台,专业化的电子束曝光 控制和应用软件,针对电子束曝光中的邻近效应开发修正软 件等.通过对电子束曝光机的研发,实现量子芯片的自主设

10 计加工,降低芯片制造成本,推进量子计算与通信技术研究 与应用的长效发展.

(二)考核指标. 1. 扫描电子束图形发生器, 可装配至主流扫描电子显微 镜实现电子束曝光功能, 扫描速度 5-50 MHz, 数模转换位数 不低于

12 位. 2. 电子束曝光机, 可提供 30kV 和50 kV 的电 子束加速电压,具有纳米量级束斑,最大写场范围不低于 500μm,加工线宽可达到

10 nm.3. 样品台位移控制精度优 于5nm,最大位移范围不低于 100mm. 资助强度:6000 万元左右/项. 申请方式:竞争择优. 专题四:星地一体量子保密通信网络及关键技术(专题 编号:0328)

(一) 研究内容. 结合星地一体量子通信网络的总体规划,建设广东省星 地一体量子通信试验示范网,研发网络调度和仿真平台,重 点攻关面向星地一体化量子通信网络组网的技术研究、模拟 平台研制及应用系统研发.具体内容包括:1. 建设星地一体 量子保密通信网络,包括量子卫星地面站和地面干线.2. 研 发星地量子通信网络的集中运行调度系统. 3. 研发星地量子 密钥分发仿真系统. 4. 研制星地量子密钥分发成码率估算设

11 备.通过对星地一体化量子通信网络的关键技术攻关及系统 研制建设,为星地量子通信网络的工程化实用化组网打下基 础,推进量子通信的产业化发展.

(二) 考核指标. 1. 建设星地一体量子保密通信网络, 实现卫星和地面网 络的对接融合,地面网络成码指标不低于 16kbps,地面站望 远镜有效接收口径不小于 0.55 米,回转半径不大于 1.5 米, 对低轨卫星跟踪和指向精度优于 5″,对卫星的单轨最大成 码量不低于 300kbits,需预留接口对接未来国家规划建设的 京广干线和卫星网络. 2. 研发星地量子通信网络的集中运行 调度系统,实现卫星任务计划的制定和执行,系统任务调度 策略制定时间小于

10 分钟,调度策略执行成功率大于 95%, 任务系统可用率大于 99%,具有实用价值.3. 研发星地量子 密钥分发仿真系统,支持实际环境数据及卫星轨道数据采 集,支持星地成码率估算,仿真系统结果偏差小于 20%,具 有实用价值.4. 研发星地量子密钥分发成码率估算设备,支 持夜间云量分析,支持周边环境遮挡情况分析,支持温湿度 测量,支持卫星轨道信息录入,支持星地成码率估算.系统 估算偏差率小于 10%,系统估算用时小于