PDF《建设项目环境影响报告表》

8 粗洗线 KWS-Q90924F

2 2 +0 --

9 甩干机 ―

1 1 +0 --

10 热处理炉 ① ―

1 2 +1 --

11 粗检测厚仪 CL-2400

2 2 +0 --

12 粗检测电阻仪 SDY-4

1 1 +0 --

13 圆边机 TMB-25 TMB-25

2 2 +0 含溢流甩 干机

14 超声波清洗线 ―

1 1 +0 --

4 15 甩干机 ―

1 1 +0 --

16 接触式测厚仪 ID-F125

1 1 +0 --

17 磨平机 ―

7 7 +0 --

18 超声波清洗线 ―

1 1 +0 --

19 测厚仪 ID-F125 机械 式22+0 --

20 平晶片清洗线 ―

1 1 +0 --

21 甩干机 ―

2 2 +0 --

22 平检测厚仪 CL-2400

3 3 +0 --

23 平检测电阻仪 RT-80

3 3 +0 --

24 贴片机 SCMM-19

1 1 +0 --

25 抛光清洗线 ―

2 2 +0 --

26 真空包装机 J-V006

1 2 +1 --

28 燃柴油锅炉(制 程用)

10 万大卡

1 1 +0 --

2 冷却塔 金日

8 8 +0 --

30 冷却塔循环水泵 12m3/h

8 8 +0 --

31 空压机 30HP

2 2 +0 --

32 空压机 50HP

1 1 +0 --

33 空压机 75HP

2 2 +0 --

34 空压机

100 HP

1 1 +0 --

35 自来水深加工系 统8t/h

4 4 +0 --

36 治具清洗机 ② /

0 5 +5 --

37 包装盒清洗机 ② /

0 3 +3 --

1 酸洗机 /

2 2 +0 利用一期 原有设备 二期

2 切断机 6〃

2 2 +0

3 圆磨机 GM-600-

2 4

4 +0

4 STC 切片机 22〃

12 12 +0

5 MB 切片机 TS-23

8 8 +0

6 粗洗机 KWS-Q90924F

2 2 +0

7 甩干机 /

1 1 +0

8 热处理炉 /

1 1 +0

9 粗检测厚仪 Cl-2400

2 2 +0

10 粗检测电阻仪 SDY-4

1 1 +0

5 11 圆边机 TMB-25 TMB-25

2 2 +0

12 超声波清洗线 /

1 1 +0

13 甩干机 /

1 1 +0

14 接触式测厚仪 ID-F125

1 1 +0

15 磨平机 13B

3 3 +0

16 超声波清洗线 /

1 1 +0

17 测厚仪 机械式

2 2 +0

18 平晶片清洗机 /

1 1 +0

19 平检测厚仪 ID-F125

2 2 +0

20 平检测电阻仪 RT-80

2 2 +0

21 抛光清洗机 /

2 2 +0

22 真空包装机 J-V006

1 1 +0

1 长晶炉 CG6000

6 6 +0 二期新增 设备

2 NTC 线切割机 MWM442DM

4 4 +0

3 自动圆边机(湿式)③ DEP-200

2 21 +19

4 22B 磨平机(湿式)③ 22B-5L-T0101

1 5 +4

5 平洗线④ --

0 1 +1

6 电阻分类仪 ADE-9500

1 1 +0

7 LTO 炉WJ-999

2 2 +0

8 LTO 清洗线 /

2 2 +0

9 贴片机⑤ SCMM-19

1 4 +3

10 抛光机(湿式) ③ SPM-19

2 24 +22

11 Pre-clean 清洗线 /

1 1 +0

12 Frin clean 清洗 线/11+0

13 BSD 清洗线 /

1 1 +0

14 激光打标机 /

0 2 +2

15 冷却塔 金日

4 4 +0

16 冷却塔循环水泵 35m3/h

8 8 +0

17 天然气锅炉 --

3 5 +2 (2 用3备)

18 废水处理系统 (生化池附带备 --

1 1 +0 本次改建 --

6 用天然气加热装 置)

19 中水回用系统 --

0 1 +1 新增 --

20 污泥干化装置 --

0 1 +1 新增 加热 用电 注:①增加的热处理炉使用氮气及电加热,生产过程无污染无产生 ②增加的治具清洗机用于设备紧固晶片用治具的使用后清洗 ③增加的圆边机、磨平机、抛光机用于切片后湿磨,设备变更原因为由于产品客户平面侧面 精度要求提升,导致作业压力降低,设备单位产出变少,只能通过增加设备及工作时长来满 足原有的生产要求. ④增加平洗线用于湿磨后清洗. ⑤贴片机配合抛光机用于将晶片与陶瓷盘治具组装.

7 工程内容及规模:(不够时可附另页)

1、项目由来 昆山中辰矽晶有限公司(外资)位于昆山市玉山镇城北汉浦路

303 号,成立 于1999 年08 月17 日,经营范围:生产加工硅晶圆、硅晶粒等硅晶产品及微电子 技术产品;