PDF《1 概述 01》

1 概述

2 技术说明

3 使用说明

4 运行故障分析

5 安全使用规范

01 03

06 13

15 目录

02 01 1.

概述 1.1 型号组成及含义 如标号"CXF-200/1400"表示口径为 200mm,额定抽速为 1400(l/s) 的磁悬浮 分子泵. 1.2 工作条件 磁悬浮分子泵只在分子流域有较好抽速(连续入口压强小于 5Pa),且要求前级排气口压强保持在 10Pa 以下,因此必须配置合理的 前级泵(无油),并使用与之相匹配的 KYKY 磁悬浮分子泵控制器. 1.3 装箱单 在打开包装箱后,请仔细核对箱内磁悬浮分子泵及其附件. CXF 口径 抽速 序号 名称 规格 数量 单位

1 磁悬浮分子泵及控制器 CXF-200/1400 或CXF-250/2300

1 套2市电连接电缆 1m

1 根3强电控制电缆 2.5m

1 根4弱电控制电缆 2.5m

1 根5使用说明书

1 份6检验合格证

1 份7保修卡

1 份表1-1 磁悬浮分子泵及控制器 装箱单

(一) 表1-2 磁悬浮分子泵及控制器 装箱单

(二) 类型 名称 规格 数量 单位 CXF-200/1400 型(卡钳) 中心支架(铝) LF

200 1 个 氟胶圈 Φ218*5.3 F

1 个 卡钳 M10

8 个CXF-200/1400 型(螺栓) 中心支架(铝) LF

200 1 个 氟胶圈 Φ218*5.3 F

1 个 活套法兰带钢丝圈 LF

250 1 个 双头螺栓(不锈钢) M10*45

12 个 螺母(不锈钢) M10

12 个CXF-200/1400 型(刀口) 密封铜圈 CF

200 1 个 双头螺栓(不锈钢) M10*45

24 个 螺母(不锈钢) M10

24 个CXF-250/2300 型(卡钳) 中心支架(铝) LF

250 1 个 氟胶圈 Φ265*5.3 F

1 个 卡钳 M10

8 个CXF-250/2300 型(螺栓) 中心支架(铝) LF

250 1 个 氟胶圈 Φ265*5.3 F

1 个 活套法兰带钢丝圈 LF

250 1 个 双头螺栓(不锈钢) M10*45

12 个 螺母(不锈钢) M10

12 个CXF-250/2300 型(刀口) 密封铜圈 CF

250 1 个 双头螺栓(不锈钢) M10*45

32 个 螺母(不锈钢) M10

32 个1.4 配件 选购配件是指安装分子泵时,在需要的情况下需由用户另外购买的配件: 1.5 运输与保存 1.5.1 运输 分子泵出厂时,包装在包装箱内.运输过程中,要轻拿轻放,严禁强震、雨淋、严寒和暴晒. 序号 名称 适用规格 数量 单位

1 磁悬浮分子泵加热器 CXF-200/1400

1 套CXF-250/2300

2 CF 铜垫圈 DN

250 1 个DN

200 1.5.2 保存 泵及控制器在开箱前应贮存在干燥、通风、无腐蚀性气体的房屋内,防止雨淋、严寒和暴晒.贮存环境温度 -20 ~ +55?C;

相对湿 度不超过 95%. 1.5.3 搬动 在打开包装箱后搬动过程中,注意保护泵的高真空密封接口、前级接口、水嘴、控制器接口等易损坏部位. a) 仅在将泵放置于所装系统前时,打开泵的密封盖;

b) 泵的前级接口、水嘴、控制器接口等突出部位不能做为搬运把手;

c) 搬运时,注意保护泵的高真空接口、前级接口,避免划伤. 警告

04 03 磁悬浮分子泵说明书

2 技术说明 2.1 安装尺寸图(单位:mm) 2.1.1 分子泵安装尺寸图 系列磁悬浮分子泵包括 CXF-200/

1400、CXF-250/2300 两型. 磁悬浮分子泵说明书 图2-2 CXF-250/2300 型安装简图 图2-1 CXF-200/1400 型安装简图 2.1.2 控制器外形尺寸图 2.2 抽速曲线 图2-3 控制器简图 图2-4 磁悬浮分子泵抽速曲线

05 06 2.3 分子泵技术性能 2.4 控制器技术性能 表2-1 磁悬浮分子泵技术参数表 表2-2 磁悬浮分子泵控制器技术参数表 型号 CXF-200/1400 CXF-250/2300 抽气速率(l/s)

1400 2300 压缩比 N2:107 N2:107 极限压强 Q 2*10-6 Q 2*10-7 建议启动压强