PDF《蓝宝石隔膜真空计》

1 蓝宝石隔膜真空计 SPG5A/6A 使用说明书 非常感谢您购买蓝宝石隔膜真空计 SPG5A/6A.

本使用说明书 中记载了安全及正确使SPG5A/6A的必要事项. 对于承担使用SPG5A/6A的操作盘、装置的设计、维护人员,请 务必在阅读并理解本书的基础上使用. 此外,本使用说明书不只在安装时,在维护、故障维修时也是 必不可少的.请常备此手册以供参考. 在订购和使用产品前,务必请先阅读 产品订购注意事项 . http://www.azbil.com/cn/products/order.html 要求 请务必把本使用说明书送到本机使用者手中. 禁止擅自复印和转载全部或部分本使用说明书的内容.今后内 容变更时恕不事先通知. 本使用说明书的内容,经过仔细审查校对,万一有错误或遗 漏,请向本公司提出. 对客户应用结果,本公司有不能承担责任的场合,请谅解. ?2015 Azbil Corporation All Rights Reserved. 安全注意事项 本安全注意事项是为了正确安全使用本产品,防患于未然,以 免给您及他人造成人体损害及财产损失,请务必遵守本安全注 意事项.另外,请在阅读本书时充分理解所述内容. 警告 注意 当错误使用本产品时,可能会造成使用者死亡 或重伤的危险情况. 当错误使用本产品时,可能会造成使用者轻伤或 财物损失的危险情况. 警告 ? 爆裂压力是指施加后本机会破损的压力.由于有发生事故 的可能性,请绝对不要施加超过该值的压力. 注意 ? 请在规格书中记载的使用条件(温度、湿度、电压、环境 等)范围内使用本机. ? 请勿在有爆炸性环境及可燃性液体或蒸汽的环境下使用. ? 连接件、垫片请使用规定的产品,配管后确认无泄漏后再 使用.否则有气体泄漏的危险. ? 请在本机的电源配线上操作者能触及的范围内设置主电源 切断用开关. ? 请按照本机连线的标准、指定电源及施工方法,正确接 线. 否则有发生火灾、故障的危险. ? 请勿让线头、切屑、水等进入本机机壳内部.否则有发生 火灾、故障的危险. ? 请勿堵塞本机的通风孔. 否则有发生火灾、故障的危险. ? 通电中及通电结束后的一段时间内,本机表面会处于高 温.由于有烫伤的危险,请勿触摸本机. 拆卸时请在作业前先切断电源,充分冷却后再进行作业. 在设置上有接触本机可能性的场合,请在自控设计时采取 对策.(有自己加热的机型) ? 请在规格中记载的寿命范围内使用本机的继电器.超过寿 命继续使用时,会有发生火灾、故障的危险. 概要蓝宝石隔膜真空计SPG5A/6A采用了蓝宝石静电容量式压力传 感器的高精度,是具有高可靠性、小型、轻量的隔膜真空计. 可选择有自己加热功能的机型及无自己加热功能的机型.有自 己加热功能的机型可选择加热温度.主要用于半导体工艺流 程.本机具有以下的特长. ?感压部材料采用具有高耐腐蚀性、高耐热性、机械特性优 异的单晶体蓝宝石,通过静电容量检测方式,即使在高温 检测环境下也可实现高的检测重复性. ?通过采用先进的显微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、 实现了大幅度的小型、轻量化. ?采用先进的信号处理技术、实现了温度特性、直线性等误 差小的检测. ?通过采用了微处理器的数字PID运算对加热器进行温度控 制、实现了迅速启动和稳定的温度控制.(有自己加热功 能的机型) ?允许宽的输入电源电压范围. ?可通过Auto零点调整开关或Up/Down零点调整开关简单地 实施零点调整. ?通过另售的智能编程软件包SLP-SP5J60可简单地进行监 视及参数的读写操作. ?备有3个事件继电器,通过另售的智能编程软件包SLP- SP5J60可简单地对各功能的设定进行变更. ?符合IEC指令、符合CE标识.(适合规格: EN

61326、 EN55011) CP-UM-5671C

2 ? 型号构成 ? 各部份的名称 ev1 ev2 ev3 zero auto down up / status D-sub15针连接器(Male) 固定螺丝 #4-40UNC 事件继电器 动作LED Status LED Auto零点调整开关 Up零点调整开关 Down零点调整开关 编程器插口 型号代码 FS压力范围 (绝对压) 型号代码 FS压力范围 (绝对压) T10 133.32 Pa P12

100 Pa T20 266.64 Pa P22

200 Pa T30 399.96 Pa P32

300 Pa T11 1333.2 Pa P13

1000 Pa T21 2666.4 Pa P23

2000 Pa T12

13332 Pa P14

10000 Pa T22

26664 Pa P24

20000 Pa T13 133.32 kPa P15

100 kPa 注 关于其它的压力范围的对应,请向本公司销售员咨询. ? 智能编程器通信功能的主要功能 本机可通过另售的智能编程软件包SLP-SP5J60简单地进行 监视及参数的读写操作. 请参阅蓝宝石隔膜真空计SPG用智能编程软件包 SLP- SP5J60 CP-UM-5499 . 监视功能 压力监视 产品内部状态监视 ?电子回路温度、受压部温度、电源电压 ?警报状态、故障状态 调整功能 偏置补偿 比率补偿 动作设定 变更功能

0 ~ 10V 输出动作设定 0V输出分配压力值 10V输出分配压力值 异常时输出值 异常时输出值输出条件 事件继电器 动作设定 总为OFF 无异常时:ON、 异常时:OFF 无异常时:OFF、 异常时:ON 无异常时:ON、 异常时:OFF锁定 无异常时:OFF、 异常时:ON锁定 预热完成时:ON 未完成时或异常时:OFF 预热完成时:OFF 未完成时或异常时:ON 预热完成时:ON 未完成时:OFF、异常时:OFF锁定 预热完成时:OFF、 未完成时:ON、异常时:ON锁定 压力上限(正动作) 压力下限(正动作) 压力上限(逆动作) 压力下限(逆动作) 偏差上下限(正动作) 偏差上下限(逆动作) 1次滤波时间常数设定 控制检查 功能

0 ~ 10V输出手动操作 事件手动操作 动作间隙 压力上限(正动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 事件继电器的压力联动设定的动作图 动作间隙 压力下限(正动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 动作间隙 压力下限(逆动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 动作间隙 动作间隙 偏差上下限(逆动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 动作间隙 动作间隙 动作间隙 压力上限(逆动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 偏差值 偏差值 偏差值 偏差值 偏差上下限(正动作) 设定值 压力

0 FS ON OFF 例:SPG5AT11HD500500 基本型号 类型 追加功能 压力 量程 自己加热 温度 连接件 事件1 设定值 事件2 设定值 内容SPG 蓝宝石隔膜真空计

5 标准型

6 高温环境对应型*1 A 事件组态型 参考压力范围型号代码表 R 无自己加热 D 125℃ E 150℃ F 160℃ G 180℃ H 200℃ A 1/2inch仪表端口 D 8VCR(Female)同等品(SUS316L 电解研 磨) E NW16 J IDF2S抱箍 P 1/2inch仪表端口/追踪证明对应 S 8VCR(Female)同等品(SUS316L 电解研 磨)/追踪证明对应 T NW16/追踪证明对应 Y IDF 2S抱箍/追踪证明对应 *** **.* %FS NNN的场合总为OFF *** **.* %FS NNN的场合总为OFF *1 不能选择无自己加热的机型

3 安装注意 ? 请在规格书中记载的使用条件(温度、湿度、电压、环境 等)的范围内使用.否则有发生火灾?故障的危险. ? 连接件、垫片请使用规定的产品,配管后确认无泄漏后再 使用.否则有气体泄漏的危险. ? 安装场所 安装本机时,请在下述的环境设置. ?无高温、低温、高湿度、低湿度的场所 ?无硫化气等腐蚀性气体存在的场所 ?粉尘、油烟等少的场所 ?无直射日光及风雨吹淋的场所 ?机械振动、冲击小的场所 ?远离高压线下、焊接机附近及电气干扰发生源的场所 ?离开锅炉等高压点火装置15m以上的场所 ?电磁场影响小的场所 ?无爆炸性环境及可燃性液体或蒸汽的场所 ? 安装 安装配管时请使用规定的连接件、垫片,并在配管后确认 无泄漏.安装角度无限制,但根据安装角度,会引起零点 漂移,安装后请务必实施零点调整. 使用上的注意事项 ? 因振动会引起压力检测部的感压膜片动作、输出偏移的 情况.请尽量不要对本机施加振动. 特别是容易受到垂直方向的振动影响,敬请注意. ? 在配管时,请勿对机壳施加力而是把配管部进行固定. 对机壳施加力时会引起故障. ? 对VCR连接件的机型,请在确认该连接连接件厂商的使 用说明书中记述的注意事项的基础上再进行配管连接. ? 本机是精密机器.请勿跌落、碰撞.本机受到冲击时会 破损或性能受到影响. ? 超过使用环境温度范围的场合,请根据需要设定冷却风 扇. 参考?出厂时的校正是按垂直安装实施.安 装角度会引起零点漂移,单安装后实 施零点调整后能保证精度. 为了防止误物残留在传感器部,推荐 垂直安装. 接线注意 ? 请按照本机连线的标准、指定电源及施工方法,正确接 线. 否则有发生火灾、故障的危险. ? 请勿让线头、切屑、水等进入本机机壳内部.否则有发生 火灾、故障的危险. ? 通电中及通电结束后的一段时间内,本机表面会处于高 温. 由于有烫伤的危险,请勿触摸本机. 拆卸时请在作业前先切断电源,充分冷却后再进行作业. (有自己加热的机型) ? 请在本机的电源配线上操作者能触及的范围内设置主电源 切断用开关. ? 接线时的注意事项 ?请务必在切断本机的供电状态下进行接线或安装、拆卸 作业. ?请确认本机的型号及连接器针的配置 (连接器针配置表 参考4页) 后进行接线.请务必确认接线无误. ?与本机连接的机器或装置请使用经过了与本机的电源、 输入输出部的最高使用电压适合的基础绝缘后的产品. ?电源从仪........