PDF《FSM Series》

1144 !"#( N2 ) RAPIFLOW ! / !" FSM Series !" 0.

05~0.5 0.1~1 0.5~5 1~10 2~20 5~50 10~100 /min 流量范围 /min注1 适用流体 最高使用压力 MPa 最低使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用环境温度・湿度 使用流体温度 直线性 显示・模拟输出 压力特性 温度特性 再现性 重复精度) 响应特性 显示的种类 输出的种类 电源电压 消耗电流 导线 保有机能 安装方向 导入直管部位 保护构造 保护回路 注4 EMC指令 精度使用条件安装显示器规格 项目显示器型 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101 洁净空气 JIS B 8392-1.1.2 5.6.2 压缩空气 JIS B 8392-1.1.2 1.6.2 注2 N2气体 注3 0.5 0.07 0.75

0 50

90 RH以下

0 50 不得结露

5 F.S.以下 0.1MPa

25 流量范围10

100 F.S.

5 F.S.以下 0.07 0.5MPa 但是,以0.1MPa为基准 0.2 F.S. 以下

15 35 但是,以25 为基准 50ms以下注5 流量显示(7区分3 1/2位数 橙色)、运转及开关输出显示(橙色) 开关输出2点 对应NPN或者PNP开式接插件输出 50mA以下 电压降2.4V以下 PLC 继电器 模拟输出1点15V电压输出、连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 60mA以下 3.7 0.2mm2 5芯1m 流量显示、流量显示峰值、开关输出、模拟输出 纵・横自如 不要 IEC规格 IP40 电源反向连接保护、开关输出反向连接保护、开关输出负荷短路保护 EN50081

2 50082

2 0.05 0.5 0.1

1 0.5

5 1

10 2

20 5

50 10

100 1 F.S.以下

3 F.S.以下 流量50 F.S.以下时

2 F.S.以下 H4 H6 6A 6AA M5 8A 8AA 显示器型质量 接管口径 FSM-N/P-005 FSM-N/P-010 FSM-N/P-050 FSM-N/P-100 FSM-N/P-200 FSM-N/P-500 FSM-N/P-101

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

70 67

150 160

170 90

205 105 单位 g H4 H6 6A 6AA M5 8A 8AA 模拟输出型质量 接管口径 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 FSM-A-101

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

63 60

140 150

160 80

195 95 单位 g 净化规格 样本No.CB-033S FSM- FSM- - - P70 P80 可在净化室内使用的防发尘构造

1145 流量传感器小型空气氮气用冷冻式 干燥机 干燥剂式 干燥机 高分子膜式 干燥机 空气 过滤器 其它 排水器 F.R.L 组件 F.R.L 分类 小型F R 精密R 净化 F R 电空R F.R.L 相关元件 速度 控制器 消声器 止回阀 其它单向阀 管接头 气管 真空F 真空R 真空发生器 真空辅助 设施 衬垫 吸盘 机械式 压力开关 电子式 压力开关 电子差压 开关 着座 密合 确认开关 空压传感器 紧固用 压力开关 小型流量 传感器 流量 传感器 全空压系统 (全空压系统) 全空压系统 γ 循环式 水冷却装置 水用流量 传感器 FSM Series 流量范围 /min注1 适用流体 最高使用压力 MPa 最低使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用环境温度・湿度 使用流体温度 直线性 模拟输出 压力特性 温度特性 再现性 重复精度) 响应特性 显示的种类 输出的种类 电源电压 消耗电流 导线 特有机能 保护回路 注4 安装方向 导入直管部位 保护构造 EMC指令 精度使用条件安装模拟输出型规格 洁净空气 JIS B 8392-1.1.2 5.6.2 压缩空气 JIS B 8392-1.1.2 1.6.2 注2 N2气体 注3 0.5 0.07 0.75

0 50

90 RH以下

0 50 不得结露

5 F.S.以下 0.1MPa

25 流量范围10

100 F.S.

5 F.S.以下 0.07 0.5MPa 但是,以0.1MPa为基准 0.2 F.S. 以下

15 35 但是,以25 为基准 50ms以下注5 电源显示(绿色) 模拟输出1点15V电压输出、连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 50mA以下 3.7 0.15mm2 3芯1m 模拟输出 电源反向连接保护 纵・横自如 不要 IEC规格 IP40 EN50081

2 50082

2 项目模拟输出型 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 0.05 0.5 0.1

1 0.5

5 1

10 2

20 5

50 FSM-A-101

10 100

1 F.S.以下

3 F.S.以下 流量50 F.S.以下时

2 F.S.以下

1 0.1

70 0.01

2 1

40 0.1

3 5

20 1.0

4 15

3 5

5 40

7 25

6 10 注2:根据 JIS B 8392-1:2000压缩空气的质量等级 等级 最大粒子直径 m 最低压力露点 最大油分浓度 mg/m3 注3:使用空气、N2以外的气体时请咨询. 注4:本产品的保护回路仅对特定的错误连接、负荷的短路有效,不能保护所有的错误连接. 注5:响应时间根据配管条件变化. 注1:

20 换算成1气压 101kPa 时的体积流量. : 1.2.2 !: ! 0.1m ! -40 ! 0.1mg/m3 分离显示器规格(模拟输出型专用) 可连接的模拟输出型的型号 显示 电源电压 消耗电流 导线 特有机能 使用环境温度・湿度 保护构造 EMC指令 质量 g 流量显示(7区分3

1 2位数 橙色)、运转及开关输出显示(橙色) 开关输出2点 对应NPN或者PNP开式接插件输出、负荷电流50mA以下 电压降2.4V PLC 继电器 模拟输出1点15V电压输出、连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 50mA以下(仅为显示器) 3.7 0.2mm2 5芯1m 流量显示、流量显示峰值、开关输出、模拟输出

0 50

85 RH以下(但是,不得结露) IEC规格IP40 EN50081-2 EN50082-2 约70 含1m导线 型号项目分离显示器 FSM-A-D -005 FSM-A-005 FSM-A-010 FSM-A-050 FSM-A-100 FSM-A-200 FSM-A-500 FSM-A-101 N P FSM-A-D -010 FSM-A-D -050 FSM-A-D -100 FSM-A-D -200 FSM-A-D -500 FSM-A-D -101 输出 N P N P N P N P N P N P

1146 FSMSeries a 开关输出形式 型号表示方法 FSM H4

005 N 符号 内容ANP模拟输出1点NPN输出 2点、模拟输出1点PNP输出 2点、模拟输出1点 型号表示例子 FSM-N-005-H4 关于专用支撑件(另售)的型号、 外形尺寸图请参照第1151页.

005 010

050 100

200 500

101 0.05 0.5 /min 0.1

1 /min 0.5

5 /min

1 10 /min

2 20 /min

5 50 /min

10 100 /min H4 H6 6A 6AA 8A 8AA M5 4快插接头(树脂本体) 流量范围500 101除外 6快插接头(树脂本体) 流量范围500 101除外 Rc1/8 不锈钢本体 流量范围101除外 Rc1/8 铝合金本体 流量范围500除外 Rc1/4 不锈钢本体 流量范围101除外 Rc1/4 铝合金本体 流量范围101除外 M5 不锈钢本体 流量范围500 101除外 输出形式 a 流量范围 b 接管口径 c b 流量范围 c 接管口径 a 开关输出形式 NPN输出 机种名称 FSM显示器型 b 流量范围 0.05 0.5 /min c 接管口径 4快插接头(树脂本体) FSM

010 A D N a 分离显示器(模拟输出型专用) 符号 内容b流量范围 机种型号 N P NPN输出2点、模拟输出1点PNP输出2点、模拟输出1点 输出形式 a

005 010

050 100

200 500

101 0.05 0.5 /min 0.1

1 /min 0.5

5 /min

1 10 /min

2 20 /min

5 50 /min

10 100 /min 流量范围 b 开关输出形式 PPD3 KL-D a 分离显示器用安装金属零件 符号 内容KL-D KD-D KHS-D KC 单侧安装脚座(L型安装) 双侧安装脚座(平行安装) 面板安装金属零件一套带盖子 操作保护盖子 安装金属零件 a 安装金属零件 1168~1173

1172 1173

1147 流量传感器小型空气氮气用冷冻式 干燥机 干燥剂式 干燥机 高分子膜式 干燥机 空气 过滤器 其它 排水器 F.R.L 组件 F.R.L 分类 小型F R 精密R 净化 F R 电空R F.R.L 相关元件 速度 控制器 消声器 止回阀 其它单向阀 管接头 气管 真空F 真空R 真空发生器 真空辅助 设施 衬垫 吸盘 机械式 压力开关 电子式 压力开关 电子差压 开关 着座 密合 确认开关 空压传感器 紧固用 压力开关 小型流量 传感器 流量 传感器 全空压系统 (全空压系统) 全空压系统 γ 循环式 水冷却装置 水用流量 传感器 FSM Series FSM- -100-6A 显示器型不锈钢本体 内部构造及部件清单 型号

1 2

3 4

5 6 部件名称 前面面板 外壳 带夹具的导线(5芯) 模块压板 传感器基板 不锈钢本体 材质聚酯膜 ABS树脂 ABS树脂 氯化塑料 聚氨酯树脂 氧化铝 不锈钢 型号

7 8

9 10

11 部件名称 传感器芯片 整流元件

10 /min用 气口过滤器 Rc1/8用 传感器密封垫圈 电子基板 材质硅不锈钢 不锈钢 氟橡胶

1 2

3 4

5 6

7 8

9 10

11 内部构造及部件清单 型号

1 2

3 4

5 6 部件名称 前面面板 外壳 带夹具的导线( 3芯) 模块压板 快插接头

6 传感器基板 材质聚酯膜 ABS树脂 ABS树脂・氯化塑料 聚氨酯树脂 氧化铝 型号

7 8

9 10

11 12 部件名称 树脂本体 传感器芯片 整流元件 0.5 /min用 气口过滤器 树脂阀体 传感器密封垫圈 电子基板 材质聚氨酯树脂 硅 不锈钢 不锈钢 氟橡胶

1 2

3 4

5 6

7 8

9 10

11 12 FSM-A-005-H6 模拟型树脂 分离显示器 FSM-A-D - 内部构造图请参照第1172页.