PDF《FSM-V Series》

1160 !"#( N2 ) RAPIFLOW ! / !" FSM-V Series !" 0.

05 0.1 0.5

1 5

10 /min 显示器规格 适用流体 最高使用压力 MPa 最低使用压力 MPa 保证耐压力 MPa 使用环境温度・湿度 使用流体温度 直线性 压力特性 温度特性 再现性(重复精度) 安装方向 导入直管部位 洁净空气 JIS B 8392-1.1.2 5.6.2 压缩空气 JIS B 8392-1.1.2 1.6.2 注1 N2气体 0.2 0.1 0.3

0 50

90 RH以下(不得结露)

0 50 5ms以下(传感器单体、最终到达输出电压的90 时)注4 DC12/24V 10.8 26.4V 30mA以下 纵・横自如 不要 IEC规格IP40

10 150Hz 多振幅1.5mm 最大10G XYZ各方向2小时 EN50081-2 EN50082-2 约8 导线、接头除外 型号项目模拟输出型 开关输出型 FSM-V-A -R0005 0.05 0.05 0.1 0.1 0.5 0.5

1 1

5 5

10 10 0.05 0.05 0.1 0.1 0.5 0.5

1 1

5 5

10 10 FSM-V-A -R0010 FSM-V-A -R0050 FSM-V-A -R0100 FSM-V-A -R0500 FSM-V-A -R1000 FSM-V- -R0005 FSM-V- -R0050 FSM-V- -R0100 FSM-V- -R0500 FSM-V- -R1000 注1: 请参照第2页根据JIS B 8392-1:2000的压缩空气质量等级. 注2: 模拟输出表示流量0时3v,将导线置为右侧,面对本体流体向右流动时,变化为5V侧.相反流动时变化为1v侧. 注3: 开关输出为响应误差固定的1境界值判别方式,旋转微调电容器就可设定全范围流量.另外,OUT1与OUT2的动作模式为反向. 注4: 响应时间根据配管条件而变化. 注5: 本产品用于吸附确认时,为了防止吸入异物,请务必将空气过滤器(过滤度30 m以下)放在吸附喷嘴和本产品之间. 另外,使用压缩空气的场合,请务必在一次侧(上流)放置过滤器(用于除去冷凝水). 注6: 分离显示器为模拟输出型专用.请注意不可连接开关输出型. 流量范围 /min (参考)适用吸吹的喷嘴 显示输出响应特性 电源电压 消耗电流 导线 保护构造耐振动 EMC指令 质量g使用条件安装输出精度NPNPNPNPNPNPFSM-V- -R0010 0.1喷嘴 0.2喷嘴 0.3喷嘴 开口夹喷嘴 0.1喷嘴 0.2喷嘴 0.3喷嘴 开口夹喷嘴 电源显示(绿色) 模拟输出1点注2

1 5V电压输出、连接负荷阻抗50K 以上

5 F.S.以下 0.1MPa

25 流量范围

100 F.S.

5 F.S.以下 0.09 0.2MPa 但是,以0.1MPa为基准 0.2 F.S./ 以下

15 35 但是,以25 为基准 电源显示(绿色)、开关输出显示(黄色) 开关输出2点注3 对应NPN或PNP开式接插件输出、PLC、继电器

2 F.S.以下

1 F.S.以下

2 F.S.以下 2.6 0.15mm2 3芯3m 2.6 0.15mm2 4芯3m 分离显示器规格(模拟输出型专用)注6 可连接的模拟输出型的型号 显示 电源电压 消耗电流 导线 保有机能 使用环境温度・湿度 保护构造 EMC指令 质量 g 流量显示(7区分3位数 橙色)、运转及开关输出显示(橙色) 开关输出2点 对应NPN或者PNP开式接插件输出、负荷电流50mA以下 电压降2.4V以下 PLC、继电器 模拟输出1点15V电压输出 连接负荷阻抗为50K 以上 DC12/24V 10.8 26.4V 50mA以下(仅为显示器) 3.7 0.2mm2 5芯1m 流量显示、流量显示峰值、开关输出、模拟输出

0 50

85 RH以下(但是,不得结露) IEC规格 IP40 EN50081-2 EN50082-2 约70 含1m导线) 型号项目分离显示器 FSM-V-D -R0005 FSM-V-A-R0005 FSM-V-A-R0010 FSM-V-A-R0050 FSM-V-A-R0100 FSM-V-A-R0500 FSM-V-A-R1000 N P FSM-V-D -R0010 N P FSM-V-D -R0050 N P FSM-V-D -R0100 N P FSM-V-D -R0500 N P FSM-V-D -R1000 N P 输出 流量传感器小型空气氮气用冷冻式 干燥机 干燥剂式 干燥机 高分子膜式 干燥机 空气 过滤器 其它 排水器 F.R.L 组件 F.R.L 分类 小型F R 精密R 净化 F R 电空R F.R.L 相关元件 速度 控制器 消声器 止回阀 其它单向阀 管接头 气管 真空F 真空R 真空发生器 真空辅助 设施 衬垫 吸盘 机械式 压力开关 电子式 压力开关 电子差压 开关 着座 密合 确认开关 空压传感器 紧固用 压力开关 小型流量 传感器 流量 传感器 全空压系统 (全空压系统) 全空压系统 γ 循环式 水冷却装置 水用流量 传感器

1161 型号表示方法 FSM-V Series a 型号表示方法 传感器本体 符号 内容b导线引出方向 c 导线长度 d 流量范围 e 接头种类 机种型号 FSM A V H

3 A N P 模拟输出 开关输出 NPN 开关输出 PNP 输出形式 a R0005 H2 H V 直管 L型 导线引出方向 b

3 3m 导线长度 c R0005 R0010 R0050 R0100 R0500 R1000 0.05 /min 0.1 /min 0.5 /min

1 /min

5 /min

10 /min 流量范围 d H2 H4 HL4 M5 直线型 1.8空气纤维 直线型 4快插接头 L型 4快插接头 气口直径M5 接头种类 e 输出形式 a 分离显示器(模拟输出型专用) 符号 内容b流量范围 机种型号 FSM D V N N P NPN输出 PNP输出 开关输出型 a R0050 R0005 R0010 R0050 R0100 R0500 R1000 0.05 /min 0.1 /min 0.5 /min

1 /min

5 /min

10 /min 流量范围 b 开关输出型 a 分离显示器用安装金属零件 符号 内容PPD3 KL-D KD-D KHS-D KC 单侧安装脚座(L型安装) 双侧安装脚座(平行安装) 面板安装金属零件一套带盖子 操作保护盖子 安装金属零件配件 a KL-D 安装金属零件配件 关于操作方法和外形尺寸请参照 第1168~1173页. 关于安装金属零件和外形尺寸请参照第

1172、1173页.

1162 FSM-VSeries 内部构造及部件清单 型号

1 2

3 4

5 6

7 8 部件名称 本体 外壳 导线夹 卡套 卡套托 传感器密封垫圈 传感器芯片 P压紧螺纹 材质聚丁烯对苯二酸盐(玻璃纤维30%) 聚丁烯对苯二酸盐(玻璃纤维30%) 聚丁烯对苯二酸盐(玻璃纤维30%) 丁腈橡胶 铝合金 丁腈橡胶 硅 钢铁(镀锌) 型号

9 10

11 12

13 14

15 16 部件名称 电子基板 导线 整流元件 过滤器 快插接头(M5) O形圈 接头固定销 前面面板 材质玻璃环氧树脂 无卤素聚乙烯树脂混合物 不锈钢 不锈钢 铝合金 丁腈橡胶 不锈钢 聚酯膜 FSM-V- 3-R -M5

5 4

3 7

1 2

9 8

6 10

11 16

13 15

14 12 模拟输出型的场合