PDF《推出 缺陷分析系统和》

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[email protected] [email protected] KLA-TENCOR 推出 推出 推出 推出KLARITY? LED 缺陷分析系统和 缺陷分析系统和 缺陷分析系统和 缺陷分析系统和 ICOS? WI-2220 LED 晶圆检测仪来帮助制造商降低成本 晶圆检测仪来帮助制造商降低成本 晶圆检测仪来帮助制造商降低成本 晶圆检测仪来帮助制造商降低成本 KLA-Tencor 推出旨在提升LED 设备代工厂产能的多种制程控制解决方案 ? 新的KLARITY LED 为LED 成品率改善和更快取得结果提供自动缺陷分析 ? 新的ICOS WI-2220 提供更低的拥有成本,以支持LED 产业的每流明成本目标 【 【 【 【加州 加州 加州 加州 MILPITAS

2011 年年年年1月月月月20 日讯 日讯 日讯 日讯】 】 】 】今天,专为半导体和相关产业提供制程控制与成品 率管理解决方案的全球领先供应商 KLA-Tencor 公司(纳斯达克股票代码:KLAC)推出了用 于改善发光二极管 (LED) 成品率的自动分析与缺陷数据管理系统―― KLARITY? LED,以及 专为 LED 缺陷检测而设计,帮助 LED 设备制造商降低其生产成本,同时增加 LED 设备可靠 性的晶圆检测工具――新的、可扩展的ICOS? WI-2220. KLA-Tencor 的成长与新兴市场集团副总裁 Jeff Donnelly 称: 业界目前普遍预计,LED 市 场在

2013 年前将以 25% 或更高的复合年增长率保持增长.如今,LED 设备制造商面临着以 更低成本提供更高性能的挑战,同时还要支持这个产业咄咄逼人的增长率.KLA-Tencor 全面 的系列 LED 缺陷检测与分析解决方案旨在为 LED 生产降低每流明成本,同时实现更严格的 制程控制和总体成品率改善. KLARITY LED: : : :用用用用于改善 于改善 于改善 于改善LED 成品率的缺陷分析与数据管理系统 成品率的缺陷分析与数据管理系统 成品率的缺陷分析与数据管理系统 成品率的缺陷分析与数据管理系统 新的 KLARITY LED 建立在集成电路制造中使用的业界领先的 KLARITY Defect 产品基础之 上,能够为 LED 设备制造商提供高性能解决方案,包括用于整个代工厂生产流程的自动线内 扫描分析.LED 产业从传统的以工具为中心的人工缺陷检查开始起步(当时只在生产线终端 阶段才有自动光学检测),正朝着采用尖端的全厂制程控制与线内检测缺陷分析的方向发 展.由于前端与后端相互连通,KLARITY LED 提供了比业界常用方法更快的偏移侦测与根源 分析,以实现有效的决策制定,从而帮助降低材料风险的影响,并改善成品率.凭借 KLARITY LED,KLA-Tencor 向LED 设备制造商推出了先进的线内替代解决方案,以实现 LED 生产流程的自动缺陷分析,并让他们可以选择更高效地在其组织内分享性能与可靠性数 据,以加快成品率学习,同时取代了现行的劳动密集型人工报告生成方法. KLARITY LED 旨在帮助 LED 设备制造商加快成品率学习周期,并推动采取立即校正措施, 它包括: ? 自动分析(智能统计制程控制偏移与基线监测)― 不再像以前那样必需专家介入和解 释,而是以自动情况报告、广泛的深入分析能力和实用决策流分析,为更快的校正措 施提供支持 KLA-TENCOR 推出KLARITY? LED 和ICOS? WI-2220 LED 晶圆检测仪 ? 先进的缺陷来源分析 ― 针对缺陷来源自动执行根源分析程序,为常见和附加缺陷提供 灵活的图形分析 ? 专有的空间特征分析 ― 识别空间特征,追踪动态特征计数,并借助层积晶圆特征来查 找根源,以更快地完成侦测与校正措施 ? 缺陷图像检查 ― 提供晶圆图点选式访问以及一个图像库,让设备制造商能够对分类与 缺陷过渡共性识别进行验证,并迅速生成自动报告 ? 重复缺陷侦测― 在单个晶圆以及各个晶圆上查找重复缺陷 KLARITY LED 让KLA-Tencor 的晶圆检测系统更加完备,包括新的 ICOS WI-2220,为关键 LED 检测投资提供了更强大的针对LED 的一系列解决方案. ICOS WI-2220: : : :LED 制程控制中的可扩展缺陷检测与改善的拥有成本 制程控制中的可扩展缺陷检测与改善的拥有成本 制程控制中的可扩展缺陷检测与改善的拥有成本 制程控制中的可扩展缺陷检测与改善的拥有成本 ICOS WI-2220 的自动光学检测功能可以帮助 LED 设备制造商提高成品率,并降低生产成 本.利用 ICOS WI-2220,设备制造商可以对难以进行人工检测的较小尺寸晶粒和需要快速校 正措施以限制昂贵的材料风险的更大尺寸晶粒进行自动检测.新系统允许对高达200mm 的完 整的和已切割的晶圆进行缺陷检测,并且在 LED 晶圆的切割前和切割后检测(即前端和后 端)中具备宏观检测灵敏度. 与当今市场上的类似产品相比,ICOS WI-2220 提供了对关键缺陷的灵敏度――同时将由于制 程变化带来的噪声降到最低――并以极高的检测速度提供了较为突出的和损害较小的性能 (晶粒误分类).此外,由于新系统采用新的专有检测与数据处理技术,因此其图像失真度 低,光学过滤技术先进,采取基于规则的分类 (RBB) 进行实时自动缺陷分类,量测功能先 进,并且检测吞吐量高.通过成品率基线改善、偏移控制以及输出质量控制检测中的改进配 置,这使提高制造流程中的成品率成为现实. ICOS WI-2220 与Candela LED 非图形成像晶圆检测系统相配合,可以为前沿产品线提供全 面的、改善成品率的检测范围,包括分析配置、降低缺陷和控制偏移.另外,ICOS WI-2220 还可以升级到ICOS WI-2250,以获得更灵活的配置. KLA-Tencor 的ICOS WI-Series 晶圆检测仪的全套 LED 系列产品、新的KLARITY LED 成品 率管理系统和 Candela 系统将在

2011 年韩国国际 LED 展览会 (LED Korea 2011) 上展出, 该展会将于

2011 年1月26~28 日在首尔 Coex 国际会展中心与韩国半导体工业技术展览会 (Semicon Korea) 联合举办.所有设备均由 KLA-Tencor 的全球综合服务网络提供支持.若要 了解更多信息,请访问www.kla-tencor.com. 关于 关于 关于 关于 KLA-Tencor: : : :KLA-Tencor 公司是工艺控制与成品率管理解决方案的领先提供商,它与 全球客户合作,开发先进的检测与度量技术.这些技术为半导体、数据存储、LED、光伏及 其他相关纳米电子产业提供服务.公司拥有广泛的业界标准产品系列及世界一流的工程师与 科学家团队,三十余年来为客户努力打造优秀的解决方案.KLA-Tencor 的总部设在美国加利 福尼亚州 Milpitas,并在全球各地设有专属的客户运营与服务中心.如需更多信息,请访问 网站 www.kla-tencor.com.(KLAC-P) 前瞻性声明 前瞻性声明 前瞻性声明 前瞻性声明: : : : KLA-TENCOR 推出KLARITY? LED 和ICOS? WI-2220 LED 晶圆检测仪 本新闻稿中除历史事实以外的声明,例如关于 KLARITY LED、ICOS WI-2220 和Candela 系 统的预期性能,高亮度发光二........