PDF《设备名称：半导体参数分析仪 （一）、主要用途：》

设备名称:半导体参数分析仪

(一) 、主要用途:

1、该电学测试分析系统用于完成各种半导体器件和材料的电学综合性 能测试 IV 和CV,提供测试数据报告,图形和分析功能.

2、可随时随地根据用户要求对系统进行升级.

3、不小于 15.6 英寸的高清触摸显示屏,让交互测试更加简便.

4、树形结构项目设计允许用户无需编程即可跳着修改测试程序.

5、可容纳最多

9 个中等功率或高功率 SMU,和可选的远程前段放大器;

6、最多可支持

6 个双通道 PMU 模块;

7、标配端口包括 USB,以太网,VGA,串口,显示器端口,HDMI 及音频插孔等;

8、内置音频扬声器

9、内置测量帮助视频来提供测试和调试指引.

10、内置固态硬盘,可方便快速开机及存储传送数据.

11、可安装机架也可安装在工作台上.

12、包含标配软件,随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,且 可以通过两种方式来提取参数.

13、可配置连接相关 GPIB 仪器、开关矩阵和探针台等.

(二) 、性能和技术指标

1、直流 IV 测试单元: 1.1.中功率源测量单元: 1.1.1.电流源输出电流/分辨率 测试范围/分辨率/偏置电流 最小: 100nA/5pA 100nA(量程)/100fA/30pA 最大: 100mA/5μA 100mA(量程)/100nA/3μA 1.1.2.电压源输出电压/分辨率 测试范围/分辨率/偏置电压 *最小: 200mV/5μV 200mV(量程)/0.2μV/80μV *最大:210V/5mV 200V(量程)/200μV/3mV 1.1.3. 数量:2 个1.2.前置放大单元(直流源测量单元) 1.2.1.电流源输出电流/分辨率 测试范围/分辨率/偏置电流 *最小: 1pA/1.5fA 1pA(量程)/0.01fA/10fA 1.2.2.前置放大单元为源测量单元的附件, 电压参数与其所在模块相同 1.2.3.数量:2 个

2、CV 测试单元 *2.1.不同频率下的 C-V 测试, 频率范围: 1K-10MHz;

2.2.可测量 Cp-G, Cp-D, Cs-D, R-jX, Z-theta 等参数;

2.3.测试信号电平 10mV rms C 100mV rms,分辨率 1mV;

2.4.直流偏置电压范围:±30V;

差分模式可达最大 60V 2.5.数量:1 个

3、主机具备计算机配置: 3.1.可触屏操作. *3.2.CPU 主频>2GHz,硬盘容量>120GB

3 个以上 USB 接口,内置 100/10 MB 以太网络接口,15.6 英寸以上液晶显示器.

4、系统软件具有以下功能: 4.1.Windows10 操作系统, 图形化界面, 全集成化,无需编制程序;

4.2.标准半导体器件参数测试库 4.3.纳米器件参数测试库 4.4.WLR 可靠性参数测试库 4.5.半导体 CV 参数分析库 4.6.提供四探针法电阻率测量方案及相应硬件

(三) 、其它、附件

1、可与

2400 和2636B 电学测试源表通讯

2、提供测试用电缆及转接头等;

(四) 、技术服务: 4.1.生产厂家到最终用户现场安装、调试合格后验收. 4.2 由厂家为用户提供现场多人,多个工作日的设备仪器使用、维护技术培训. 4.3 产品质量按中华人民共和国有关质量标准实行"三包"服务. 4.4 保修期:设备到货验收合格后整机保修一年. 4.5 生产厂为用户提供产品终身技术服务.产品出现故障在

24 小时内响应,72 小时内到现场履行维修服务义务. 设备名称:可变温探针台

1、工作条件: 1.1.湿度: ? 80% 1.2.温度:

15 -

30 ? C 1.3.电源:

220 V +/- 10%;

50 Hz,

1 phase

2、技术指标: 2.1.载物台尺寸:6 英寸并向下兼容

6 英寸以下样品及不规格样品;

*2.2.载物台 X/Y 轴移动范围: 0-156mm, 移动精度小于 5um, 载物台必须具备

360 度无间隙转动功能;

2.3.载物台 Z 轴移动范围:0-35mm,必须具备快速抬升功能;

*2.4.配备高精度磁吸式探针座及三轴线缆,漏电流不高于 100fA,X/Y/Z 轴移动 范围:10 x

10 x 10mm,探针臂必须采用金属弹簧扣设计,精确控制移动精度: 0.7um;

*2.5.配备

6 英寸热台及控制系统,温度范围:RT-573K,热台和载物台必须具备 快速切换功能;

*2.6.配备进口体式显微镜,最大放大倍数

200 倍,500 万像素 CCD 相机;

2.7.配备屏蔽箱和无油迷你真空泵.

3、技术服务: 3.1.生产厂家到最终用户现场安装、调试合格后验收. 3.2.由厂家为用户提供现场多人,多个工作日的设备仪器使用、维护技术培训. 3.3.产品质量按中华人民共和国有关质量标准实行"三包"服务. 3.4.保修期:设备到货验收合格后整机保修一年. 3.5.生产厂为用户提供产品终身技术服务.产品出现故障在

24 小时内响应,72 小时内到现场履行维修服务义务.