PDF《产品特点》

MEMS 二维扫描微镜―CW101X|产品规格书 产品特点 ? 单个微镜实现二维扫描 ? 体积小 ? 转角大 ? 谐振频率高(抗震性好) ? 内部集成角度传感器(可实现精确控制) 应用 性能参数 参数 单位 数值 有效镜面尺寸 mm 1*1,1.

2*1.2,1.5*1.5 光学转角 deg 52*28(H*V),40*28(H*V) 工作频率 Hz 0~800Hz@垂直方向;

14kHz/16kHz/18kHz@水平方向 工作电压 V ±5V 镜面反射率 % >90 最大功耗 mW

8000 MEMS 二维扫描微镜―CW101X|产品规格书 工作温度 ℃ -20~70 存储温度 ℃ -40~80 抗冲击强度 g >1500g 微镜模块尺寸 mm 10*14*11 参数曲线

0 10

20 30

40 50

10 20

30 40

50 60

70 80

90 光学转角(度)电流(mA) 电流与光学转角的关系 慢轴 快轴

0 0.5

1 1.5

2 2.5

3 1

2 3

4 5

6 7

8 9

10 经测试板角度传感器输出电压(V)机械转角(度) 角度传感器输出与机械转角的关系 MEMS 二维扫描微镜―CW101X|产品规格书 MEMS 微镜模块 最大光束入射角:18° 注:微镜封装外形可以根据要求定制