PDF《建设项目环境影响报告表》

建设项目环境影响报告表 项目名称:光掩膜高纯石英基板研发及产业化项目 建设单位(盖章) 中天科技精密材料有限公司 编制日期:2019 年4月江苏省环境保护厅制

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一、建设项目基本情况 项目名称 光掩膜高纯石英基板研发及产业化项目 建设单位 中天科技精密材料有限公司 法人代表 薛济萍 联系人 王海涛 通讯地址 南通市经济技术开发区中天路

3 号 联系电话

13814623546 传真 0513-81159620 邮政编 码226009 建设地点 南通市经济技术开发区中天路

3 号 立项审批部 门 南通市经济技术开发区 行政审批局 批准文号 通开发行审备[2019]42 号 建设性质 扩建 行业类别 及代码 C3985 电子专用材料制造 占地面积 / 绿化面积 / 总投资 (万元)

20000 其中:环保投 资 (万元)

5 环保投资占 总投资比例 0.

25% 评价经费 (万元) / 预期投产日期

2020 年12 月 原辅材料(包括名称、用量)及主要设施规格、数量(包括锅炉、发电机等) 本项目主要原辅材料及用量见表 1-1,主要设备使用情况见表 1-2. 表1-1 扩建项目主要原辅材料一览表 类别 名称 主要成 分 年耗量 t/a 包装储存方 式 最大储存量t/a 来源及运输 规模生 产 四氯化 硅≥99% 397.6 储罐

8 上海,槽车运输 氢气 ≥99%

267 / / 江山农化 12.5km管道输送 氧气 ≥99%

2147 低温液化储 罐44 槽车运输 氩气 ≥99% 1568.5 低温液化储 罐32 槽车运输 氮气 ≥99% 4.08 低温液化储 罐/自制 氢氧化 钠32% 1069.2 桶装 89.1 江山农化,汽车运输 研发 四氯化 硅≥99% 79.5 储罐 1.6 上海,槽车运输 氢气 ≥99% 1.87 / / 江山农化 12.5km管道输送 氧气 ≥99% 429.45 低温液化储 8.8 槽车运输

2 罐 氩气 ≥99% 313.7 低温液化储 罐6.4 槽车运输 氮气 ≥99% 0.82 低温液化储 罐/自制 氢氧化 钠32% 213.8 桶装 17.8 江山农化,汽车运输 表1-2 主要原辅材料理化性质一览表 名称分子 式 理化特性 危险特性(燃烧、 爆炸、 腐蚀、 氧化性) 毒性毒理 四氯化硅SiCl4 分子量 169.9, 无色或淡黄色发烟液体, 有刺激性气味, 易潮解, 熔点(℃): -70,沸点(℃): 57.6,相对密度(水=1): 1.48,相对蒸气 密度(空气=1): 5.86,饱和蒸气压(kPa): 55.99(37.8℃),可混溶于 苯、氯仿、石油醚、等多数有机溶剂. 本品不燃, 具强 腐蚀性、 强刺激 性, 受热或遇水 分解放热, 放出 有毒的腐蚀性 烟气. LD50: 54640mg/kg 大鼠经口 氢气H2 外观与性状:无色无臭气体.熔点(℃):-259.2.相对密度(水=1):0.07(-252℃).沸点(℃):-252.8.相对蒸气密度(空气=1): 0.07. 饱和蒸气压(kPa): 13.33(-257.9℃). 燃烧热(kJ/mol): 241.0. 临界温度(℃): -240.临界压力(MPa):1.30.爆炸上 限%(V/V):74.1.引燃温度(℃):400.爆炸下限%(V/V):4.1. 溶解性:不溶于水,不溶于乙醇、乙醚. 与空气混合能 形成爆炸性混 和物, 遇热或明 火即会发生爆 炸. / 氧气O2 外观与性状:无色无臭气体.熔点(℃):-218.8.相对密度(水=1):1.14(-183℃).沸点(℃):-183.1.相对蒸气密度(空气=1): 1.43. 饱和蒸气压(kPa): 506.62(-164℃). 临界温度(℃): -118.4. 临界压力(MPa):5.08.溶解性:溶于水、乙醇. 本品助燃. / 氯化氢HCl 外观与性状:无色有刺激性气味的气体.熔点(℃):-114.2.相 对密度(水=1):1.19.沸点(℃):-85.0.相对蒸气密度(空气=1): 1.27.饱和蒸气压(kPa):4225.6(20℃).临界温度(℃):51.4. 临界压力(MPa):8.26.溶解性:易溶于水. 不燃. LC50: 4600mg/m3,

1 小时(大鼠吸入) 氩Ar 外观与性状:无色无臭的惰性气体.熔点(℃):-189.2.相对密 度(水=1):1.40(-186℃).沸点(℃):-185.7.相对蒸气密度(空气 =1):1.38.饱和蒸气压(kPa):202.64(-179℃).临界温度(℃): -122.3.临界压力(MPa):4.86.溶解性:微溶于水. 不燃. / 氦He 外观与性状:无色无臭的惰性气体.熔点(℃):-272.1.相对密 度(水=1):0.15(-271℃).沸点(℃):-268.9.相对蒸气密度(空气 =1):0.14.饱和蒸气压(kPa):202.64(-268℃).临界温度(℃): -267.9.临界压力(MPa):0.23.溶解性:不溶于水、乙醇. 不燃. / 氮N2 分子量 28.01,无色无臭气体,熔点-209.8℃,沸点:-195.6℃, 微溶于水、乙醇,相对密度(水=1)0.81(-196℃);

相对密度(空气 =1)0.97 若遇高热, 容器 内压增大, 有开 裂和爆炸的危 险. / 氢氧化钠NaOH 分子量:40.0;

熔点:318.4℃,沸点:1390℃,纯品是无色透 明的晶体,易溶于水,同时强烈放热. 遇酸中和放热, 遇水放热. /

3 表1-3 扩建项目设备清单一览表 序号 设备名称 型号 数量(台) 备注1大尺寸沉积设备 ZVD

5 国产

2 大尺寸烧结设备 ZVS

5 3 退火炉 /

5 4 氧气纯化器 /

2 5 SiCl4 集中供料系统 /

1 6 车间物流系统 /

1 7 数据采集控制系统 /

1 8 高压配电柜 /

10 9 低压配电柜 /

30 10 风机水泵控制柜 /

30 11 冷冻水系统中央控制柜 /

5 12 动力配电柜 /

10 13 湿式废气处理设备 /

2 14 洗涤塔设备 /

2 15 单线截断机 X07s500-10-0

5 16 多线切割机 Dx4250

5 17 线开方机 Wsk031

5 18 磨倒机 Wsk051

5 19 研磨机 16B

10 20 抛光机 16B

10 21 外圆磨床 MB1420B

5 22 超声波清洗系统 DH-1024

5 23 偏光显微镜 DYP-990

1 24 研发设备 /

1 25 激光干涉仪 Zygo-600 大口径

1 美国

26 分光光度计 SolidSpec-3700DUV

1 日本

27 Ilis 大口径应力双折射应力仪 Strain Matic M4

1 德国 水及能源消耗量 名称消耗量 名称消耗量 水(吨/年)

115228 燃油(吨/年) / 电(万度/ 年)

100 燃气(标立方米/年) / 燃煤(吨/ 年) / 蒸汽(立方米/年) / 废水(工业废水√、生活废水√)排水量及排放去向 本项目生产废水 (114814t/a) 经废水处理设施处理后与经化粪池处理后的生活污水 (352t/a) 一并经东厂区污水排口排入开发区第一污水处理厂.

4 放射性同位素和伴有电磁辐射的设施的使用情况 无. 工程内容及规模:(不够时可附另页)

1、项目由来 中天科技精密材料有限公司成立于

2008 年,位于南通经济技术开发区中天路

3 号,专业 从事光纤预制棒及相关光纤通信产品的生产与销售.公司现有厂区占地面积

42276 平方米,建 筑面积

29766 平方米,现有年产

1200 吨光纤预制棒生产项目通过竣工环保验收,另有

1000 吨 大尺寸光纤预制棒智能化改造项目正在建设.目前已形成年产

1200 吨光纤预制棒生产能力. 集成电路是现代高科技的核心与先导,对现代经济、国防和社会产生了巨大的影响.其产 品具有极其广阔的市场需求及发展前景,而光刻技术是制作集成电路的关键.光刻技术是用掩 膜的方法将模板上的大规模集成电路器件的结构图形 刻 在涂有光刻胶的硅片上的尖端技术. 根据光刻技术的发展方向:曝光波长越来越短,即从 436nm-365nm-248nm-193nm-157nm-NGL (下一代光刻技术).这对光掩膜基础材料---玻璃基片的要求也越来越苛刻,248nm-193nm 波 长范围的深紫外(DUV)光刻不能用普通玻璃作掩模基板,只能用对 DUV 吸收少的高纯合成 石英玻璃方能达到曝光波长的要求. 然而目前光掩膜高纯石英基板市场仍被国外企业所主导,主要依赖于进口,严重制约着半 导体行业的发展. 为了助力国家相关战略性产业和支柱性产业的发展,

2018 年工信部将光掩膜 基板用石英玻璃基片纳入《重点新材料首批次应用示范指导目录》,突破关键技术,实现产业 化. 中天科技精密材料有限公司着眼于未来半导体等的发展趋势和提升国际竞争力, 精心组建 了光掩膜高纯石英基板研发团队,针对未来半导体光刻技术要求,设计并研发出光掩膜高纯石 英基板,提升企业在高新技术领域中的竞争力和地位. 中天科技精密材料有限公司拟投资20000万元在现有厂区内建设并研制大尺寸沉积烧结专 用设备,购置 Zygo 激光干涉仪、应力仪、线切割、研磨、抛光等生产、检测、加工........