PDF《WAFER ROBOT》

晶圆机器人 WAFER ROBOT 型号 R D H Z RWS-T-R135

135 260 580/640/730 340/400/500 RWS-T-R185

185 360 580/640/730 340/400/500 型号 R D H Z RWS-B-R135

135 260 592/652/742 340/400/500 RWS-B-R185

185 360 592/652/742 340/400/500 注:图中参考尺寸会依末端效应器款式有所差异,详细尺寸请与HIWIN联络.

注:图中参考尺寸会依末端效应器款式有所差异,详细尺寸请与HIWIN联络. RWS-T RWS-B Wafer (632) 35±35 D D R R (272) (78.5) A-A SECTION 4-C50 4-?11 THRU PCD

350 (270)

285 90° 45° 45° Dead Zone Rotational Range Detail Mapping Dead Zone 340°(T Axis Rotational Range) 340°(Mapping Rotational Range)

5 0 °

5 0 ° (?610) Power & Air Sorce Interface Power Socket Pressure Connector ?12 (Negative Pressure) I/O Socket Signal Socket Pressure Connector ?6 (Negative Pressure)

130 67

12 176 A A Exhaust Direction (139) Z

10 H (134.2)

9 Exhaust Direction A A (725.2) (730) (1070)

10 z H Power & Air Sorce Interface I/O Socket Signal Socket Pressure Connector ?6 (Negative Pressure) Power Socket Pressure Connector ?12 (Negative Pressure)

85 130

12 188 Wafer 35±35 R R D D (78.5) (272) (532) Mapping Dead Zone Dead Zone Rotational Range Detail 340°(Mapping Rotational Range) 340°(T Axis Rotational Range) (?520)

5 0 °

5 0 ° A-A SECTION 4-?11 THRU PCD

350 4-C50 (270)

285 90° 45° 45° 注:图中参考尺寸会依末端效应器款式有所差异,详细尺寸请与HIWIN联络. 注:图中参考尺寸会依末端效应器款式有所差异,详细尺寸请与HIWIN联络. 型号 R D H Z RWD-T-R135

135 260 580/640/730 340/400/500 RWD-T-R185

185 360 580/640/730 340/400/500 型号 R D H Z RWD-B-R135

135 260 592/652/742 340/400/500 RWD-B-R185

185 360 592/652/742 340/400/500 RWD-T RWD-B Power & Air Sorce Interface Power Socket Pressure Connector ?12 (Negative Pressure) I/O Socket Signal Socket Pressure Connector ?6 (Negative Pressure)

67 12

130 176 A A Exhaust Direction

10 9 (220.5)

25 (535.5) Z H (194) Wafer R R D D (80.5)

35 (345) (705) Rotational Range Detail 340°(T Axis Rotational Range) 340°(Mapping Rotational Range) Dead Zone Mapping Dead Zone

20 °

20 ° (?635) A-A SECTION 4-C50 4-?11 THRU PCD

350 285 (270) 45° 45° 90° Power & Air Sorce Interface Pressure Connector ?6 (Negative Pressure) Pressure Connector ?12 (Negative Pressure) Power Socket Signal Socket I/O Socket

188 85

130 12 Exhaust Direction A A

10 (794.3)

20 (Z) (1114.3) (765.5) H (774.3) (795.5) A-A SECTION 4-C50 4-?11 THRU PCD

350 285 (270) 45° 45° 90° Wafer R R 35±35 (95.5) (D) (D) (318) (578) Dead Zone Rotational Range Detail Mapping Dead Zone 340°(T Axis Rotational Range) 340°(Mapping Rotational Distance) (?540)

20 °

20 ° 半导体产业 LED产业 面板产业(小型面板) 产品系列 晶圆搬运 晶圆翻转搬运 蓝宝石基板搬运 仓储应用 双臂型 适用於2~12 单臂型 适用於2~12 面板搬运 Grip Ring (胶环)搬运 机械手臂中的各关键零组件,如滚珠螺杆、直驱马达等,皆由HIWIN自行研发制造,取件直接,软硬体垂直整 合,可提供高品质的机器手臂,提升您的竞争力,且可依客户生产需求提供客制化服务. 关键零组件自制 RW - S - T Z400 R135 - Cta - F - M - T 晶圆机械手臂 手臂型式 固定型式 Z 轴行程 手臂长度 末端型式 F M T RW S: 单臂 D: 双臂 T: 上固定 B: 下固定 Z340 Z400 Z500 Z*: 客制 R135 R185 *: 客制 Ata: 真空吸取式 Cta: 夹持式 Rta: 翻转式 F: 牙叉 无记号 : 无M: 扫片感测器 无记号 : 无T: 教导器 无记号 : 无 规格表 型号表 手臂系列 单臂 RWS Series 双臂 RWD Series

135 mm /

185 mm 额定负载 0.5 kg R/W 轴 速度

750 mm/sec T 轴 转动围 0~340 deg 角速度

250 deg/sec Z 轴 行程 340/400/500 mm 速度

250 mm/sec 锁固方式 底部 / 顶部固定 重量 45-55 kg ( 不含控制器 ) 洁净度 Class

100 重复精度 ±0.02 mm 控制介面 RS232 / Ethernet I/O

14 IN /

9 OUT 中继线长度

5 m 电压需求 200~240 V (AC) ( 单相 ) 电流需求

5 A 真空需求 φ6 ;

-40~-60kPa 臂长

135 mm

185 mm End Effector 选配 Z轴行程

340 mm

400 mm

500 mm 固定方式 底部固定 顶部固定 FORK(依客户需求不同可选配对应款式) 图示 代码 适用晶圆尺寸 作动方式 D1 D2 D3 D4 D5 D6 D7 F01 2"~4" 真空吸取

220 25

25 M3

35 25

30 F02 8"~12" 真空吸取

250 40

35 M3

60 100

140 F03 2"~8" 真空吸取

199 25

25 M3

35 N/A

23 F04 2"~6" 真空吸取

186 25

25 M3

35 N/A

20 F05 7" 夹持

155 35

35 M3

50 60

114 F07 8" 夹持

168 35

50 M3

105 65

105 F08 6"、8" 真空吸取

195 25

25 M3

35 55

85 F09 8" 真空吸取

195 25

25 M3

35 110

150 D6 D7 D5 D3 D2 D1 D4 ? 真空吸取型:以真空负压吸取晶圆、基板进行移载. ? 夹持型:夹持晶圆、基板边缘进行移载. ? 翻转型:以真空负压吸取晶圆、基板进行移载,可依使用者需求 让晶圆、基板正反面翻转. 选配 Mapping Sensor 教导器 末端效应器 RW系列手臂支援扫片功能,选配Mapping Sensor即可让手臂在进行取放片前侦 测晶舟盒内部的晶圆或基板是否有叠片、斜片的状态,提供使用者相关数 手臂取放动作. ? 体积小,方便携带及操作,使用者可教导站点,测试手臂各站点取放动作. ? 图式化功能键,操作简单. ? 附有安全开关,可避免使用者因误触功能键造成手臂作动. 真空吸取型 夹持型 翻转型 Wafer Robot 需求表 公司名称: 日期: / / 拜访人: 地址: 联络人: E-mail: 传真:

电话: 条件 产品尺寸&规格 圆形: () 方形: x (mm) 厚度: ~ (mm) 翘曲量(Warpage): ~ (mm) 重量: kg 材质: Wafer不可碰触围: Cassette Pitch: 制程: 本体 Z轴行程 340mm;

400mm;

500mm;

其他 mm 取放围 最低取 / 放片高度: mm;

最高取 / 放片高度: mm 固定方式 上固定;

下固定 手臂 形式 单臂;

双臂 搬运距离 取放距离 (mm) 回转直径 ≤ ? (mm) 手臂类型 真空吸取式;

夹持式;

翻转式;

其他 通讯介面 Ethernet(TCP/IP);

RS232 环境 洁净度需求 无;

Class100 / ISO 5(标准品);

Class ;

ISO 温度 10℃~40℃;

其他 ℃ 压力 一般大气环境;

其他 kPa 其它 Fork 无;

有 材质: 抗静电: (欧姆) MAP Sensor 无;

有;

其他 教导器 无;

有 横移轴 无;

有,行程 mm,重复定位精度± mm 其他功能 / 需求说明: (由HIWIN工程师填写) 建议规格: HIWIN建议人: Wafer Wafer ?2018 FORM C03DC01-1809 (PRINTED IN TAIWAN) 上银科技股份有限公司 HIWIN TECHNOLOGIES CORP. 40852台中市精密机械园区精科路7号Tel : (04)2359-4510 Fax: (04)2359-4420 www.hiwin.tw [email protected] 本型录的内容规格若有变更,恕不另行通知. Copyright ? HIWIN Technologies Corp. HIWIN为上银科技的注册商标,请勿购买来路不明之仿冒品以维护您的权益. 本型录所载规格、照片有时会与实际产品有所差异,包括因为改良而导致外观或规格等发生变化的情况. 凡受"贸易法"等法规限制之相关技术与产品,HIWIN将不会违规擅自出售.若要出口HIWIN受法律规限制出口的产品, 应根喙胤上蛑鞴芑厣昵氤隹谛砜,并不得供作生产或发展核子、生化、飞弹等军事武器之用. HIWIN产品专利清单查询

网址:http://www.hiwin.tw/Products/Products_patents.aspx 全球子公司/研发中心 德国 欧芬堡 HIWIN GmbH www.hiwin.de 捷克 布尔诺 HIWIN s.r.o. www.hiwin.cz 日本 神户?东京?名古屋?长野?东北? 静冈?北陆?广岛?福冈?熊本 HIWIN JAPAN www.hiwin.co.jp 美国 芝加哥 HIWIN USA www.hiwin.com 义大利 米兰 HIWIN Srl www.hiwin.it 瑞士 优纳 HIWIN Schweiz GmbH www.hiwin.ch 新加坡 HIWIN SINGAPORE www.hiwin.sg 韩国 水原?马山 HIWIN KOREA www.hiwin.kr 中国 苏州 HIWIN CHINA www.hiwin.cn 以色列 海法 Mega-Fabs Motion Systems, Ltd. www.mega-fabs.com 项目 规格 尺寸

527 x

252 x

202 mm 重量 16.5 kg 电源输入 单相 AC200~240V/5A 最大耗电量 1200W 通讯 RS232 / Ethernet (择一使用) I/O

14 IN /

9 OUT 注:此例内容及指令表截取自HRC-W 电控箱使用者操作手册之附录A巨集指令列表,详细内容请至HIWIN网页下载、或是与HIWIN连络索取. HRC-W 控制器 通讯控制 简易巨集指令操作 高精密控制 可使用教导器简易教导手臂站点位置. 上位控制器(Host)透过RS232 / Ethernet通讯方式下达巨集指令,控制手臂作动. 内建各种状态、参数、运动指令 (含安全保护机制),供使用者弹性规划生产流程. 采用HIWIN自制高精密、高刚性直驱马达,重复精度 ±0.02mm. Host 巨集指令 GET or PUT 回传 Controller 垂直精度 Cycle (times) Position (mm) -0.02 -0.01

0 -0.03 -0.04 -0.05 0.04 0.05 0.03 0.02 0.01

0 10

20 30

40 50

60 70

80 90 100