PDF《双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温；》

石墨烯专用生长炉由滑动开启式真空管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成.

通过滑动炉体来实现快速的升降温;

配置不同的真空系统来达到理想 的真空度;

同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体. 主要用途和适用范围: 用于石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的 CVD 实验. 技术参数: 炉体结构 双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好 炉子底部装有一对滑轨,移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启,可以实时观察加热的物料 电源 电压:AC220V 50/60Hz;

功率:4kw 炉管 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小 尺寸:Φ 40/60/80/100*1200mm 法兰及支 撑SUS304 不锈钢快速法兰,通过用高温"O"型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀,KF 密封圈及卡箍组合 加热系统 加热元件采用优质合金丝 0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久耐用 加热区长度:410mm 恒温区长度:200mm 工作温度:≤1150℃ 最高温度:1200℃ 升温速率:10℃/min 温控系统 温度控制采用人工智能调节技术,具有 PID 调节、自整定功能

30 段升降温程序 测温元件:N 型热电偶 恒温精度:±1℃ 混气系统 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制 内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管,接口为Φ

6 卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格:0~1SLM 流量精度:±0.5% 真空系统 采用双极旋片真空泵,真空度可达 5x10-1 Torr 数显式真空压力表 可选高真空系统及真空计,压力控制系统等 标准配置 主机

1 台,密封法兰

1 套, "O"型圈

4 个,石英管

1 根,管堵

4 个,坩埚钩

1 把, 说明书、合格证、保修卡各

1 份 可选配件 混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪等.