PDF《提高射频超导加速腔性能的表面干式处理研究 ！》

提高射频超导加速腔性能的表面干式处理研究! 郝建奎! 焦飞黄森林 朱风赵夔(北京大学重离子物理教育部重点实验室,重离子物理研究所, 北京 "##$%") (&##' 年"# 月&( 日收到;

&##' 年"" 月&& 日收到修改稿) 射频超导谐振腔以其优越性在加速器领域起到了常温加速腔无法替代的作用) 超导腔的表面特性直接影响 到加速腔的性能) 为进一步提高超导腔的加速性能, 北京大学利用超高真空氩离子清洗技术发展了一种超导腔表 面的干式处理方法) 与传统的湿处理方法 (化学抛光 *+, 和电抛光 -,) 相比, 干式处理方法具有其特有的优点, 有 可能成为一种新的超导腔表面处理方法, 对提高加速腔的性能起到推动作用) 进一步的研究正在进行之中) 关键词:射频超导,表面处理,溅射,抛光 ! 国家重点基础研究发展规划项目 (批准号: 资助的课题 ) ! -01234:567289:6;

"@ 引言射频超导谐振腔可以运行在连续波模式下, 这 一优势是常温加速腔无法做到的 ["] ) 超导腔的加速 梯度 !2>>和品质因数 " 是两个最重要的性能参数) 超导腔的表面状况直接影响到超导腔的低温性能) 现在 常用的表面处理方法主要有高压水清洗(A,B) 、 化学抛光 (*+,) 、 电抛光 (-,) 等) 在表面处 理的同时, 还需进行热处理) 根据处理温度的不同, 大致分为三种处理方法) 低温热处理, 温度在 "##― ".

#C, 主要是改善加速腔 的高场"值下降("0 =D8:) C热处理, 高真空下使铌腔在此温 度下退火, 使铌的晶格重新排列, 提高超导性能, 同 时去除铌中吸附的氢, 以避免氢引起的 " 值降低 ("0=3E+8 J%+ %& B>#,>+@@L 5* @)B+>6#&8)6"&< C#L9229EU41W:29) L X

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4 期 郝建奎等:提高射频超导加速腔性能的表面干式处理研究