PDF《等离子灰化机》

A 实验室仪器 Laboratory Instruments

115 YAMATO SCIENTIFIC www.

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1 灭菌器

2 喷雾 干燥器

3 马弗炉

7 纯水 制造装置

8 恒温水槽

9 恒温 水循环

4 恒温箱 干燥箱

5 恒温 培养箱

6 等离子 装置 冷冻干燥 冷阱

11 搅拌器 振荡器

12 清洗机

13 选购品

14 10 旋转 蒸发仪

6 等离子装置A实验室仪器 Laboratory Instruments

115 YAMATO SCIENTIFIC 低温等离子 ・ 经典桶型. 规格 型号 PR500 PR510 模式 DP模式,桶型 控制部高频输出功率 Max500W 频率 13.56MHz 同调方式 自动协调 反应部反应腔 石英 Φ215*305mm 反应气体 2系统(O2/CF4) 控制 手动 触摸屏自动控制 配管材质 不锈钢、特氟龙 外形尺寸 W438*D520*H760mm 参照规格书 重量 约60kg 参照规格书 电源 单相AC100V 9A 三相AC200V 8A 等离子灰化机 PR500/510 Gas Plasma Reactors l DP模式、桶型 高频输出 50~500W 反应腔 Φ215*305mm PR500 PR510 PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制 内槽 硅晶圆灰化状态 低温等离子的经典款非常具有历史性.采用自动协调功能 及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款 小型紧凑型的等离子处理设备. 去除光刻胶 部品清洗 界面活性处理 微研磨 硅晶圆,玻璃基板对应 用途 大口径(Φ215mm)石英反应腔 小型一体化设计 操作简单的触摸屏方式(PR510型) 特征 Made in Japan