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2、按上述发明成膜溶液的组方,选取Sb(AC)3 不同加入量(点值),选取 电阻值调整剂的不同种类及其含量(点值),给出以下实施例及其技术效果. (组方中其他成份的含量,按上述组方比例取点值) (1)掺有少量低阻值范围电阻值调整剂的实施例: Sb(AC)3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 0.2% 序号? ? 种类? ? ? ? 含量( %)? ? R ( Ω)? 工作温度( ℃)? ? 面功率密度(W/cm2 ) 1? ? ? ? ? HBF4 ? ? ? 0.2? ? ? ? ? ? ? 15-20? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 2? ? ? ? ? AlCl3 ? ? 0.2? ? ? ? ? ? ? 18-20? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 3? ? ? ? ? InCl3 ? ? 0.2? ? ? ? ? ? ? 15-18? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 4? ? ? ? ? GaCl3 ? ? 0.2? ? ? ? ? ? ? 15-18? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 5? ? ? ? ? HBF4 ? ? ? 0.1? ? ? ? ? ? ? 18? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 ? ? InCl3? ? 0.1 96117069.7 说明书第5/7页86????AlCl3????0.1?????20???????????500?????????????≤5 ? GaCl3? ? ? ? 0.1

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0 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ≤5 ? AlCl3? ? ? ? 0.1 ? GaCl3? ? ? ? 0.05 (2)掺有中等量低阻值范围电阻值调整剂的实施例: ? ? ? Sb(AC)3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1.2% 序号? ? 种类? ? ? ? 含量( %)? ? R ( Ω)? 工作温度( ℃)? ? 面功率密度(W/cm2 ) 8? ? ? ? ? HBF4 ? ? ? 1.3? ? ? ? ? ? ? 12-14? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 9? ? ? ? ? AlCl3 ? ? 1.3? ? ? ? ? ? ? 13-15? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 10? ? ? ? InCl3 ? ? 1.3? ? ? ? ? ? ? 12-14? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 11? ? ? ? GaCl3 ? ? 1.3? ? ? ? ? ? ? 10-13? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 12? ? ? ? HBF4 ? ? ? 0.6? ? ? ? ? ? ? 13? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 ? ? InCl3? ? 0.7 13? ? ? ? AlCl3 ? ? 0.5? ? ? ? ? ? ? 15? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 ? ? GaCl3? ? 0.8 14? ? ? ? HBF4 ? ? ? 0.5? ? ? ? ? ? ? 14? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 500? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2-5 ? ? AlCl3? ? 0.3 ? ? GaCl3? ? 0.5 (3)掺有较多量低阻值范围电阻值调整剂的实施例: ? ? ? Sb(AC)3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2.2% 序号? ? 种类? ? ? ? 含量( %)? ? R ( Ω)? 工作温度( ℃)? ? 面功率密度(W/cm2 ) 15? ? ? ? HBF4 ? ? ? 2.3? ? ? ? ? ? ? 1.5-2? ? ? ? ? ? ? ........