PDF《多晶硅的真空感应熔炼及定向凝固研究》

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3 K时真空 处理 I h后, 磷 含量 为0.00080%. 实际IcP测得的磷含量为0.00090%, 与理论计算结果较符合 . .

2 .

2 .

2 定向凝固对去陈金属杂质的影响 定向凝固之 后工 业硅 中的金 属杂 质都 有所 减少 , F e 、 A J 、 c a 、 和cu的除杂 效率分别为

6 6 .

9 % 、

7 9 .

3 % 、

4 2 .

6 % 、

6 8 .

2 % 和73.6% 这些杂质元素能够被 去除 的朦凶可通 过凝固 的溶 质分配 系数 ( = c / C , c c . 分 别表 示固液 相 的平衡浓度 ) 来说 明( 见图

3 ) . 有两种情 况 对硅 与杂 质元素组成的相 图, 当l时.先凝 固的固相 含有较 多 的杂质 . 不利于杂质的去除 赠^岜列fJCB , ( d ) < I ( h ) >1 囤3杂质元素击除原理 图(为原始杂质 浪度 为此求度 值时的液相线温度) 当