PDF《真空部件》

编辑： 枪械砖家 2013-07-13
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2019 年.

第34 卷.增刊

1 性能指标 溅射离子泵:SIP 系列产品,极限真空:≤ 1X10 -

9 Pa,抽速范围:3―1000 L/s 涡旋干泵:WXG 系列产品,抽速

2 L/s、

4 L/s、8 L/s、16 L/s 超高真空插板阀:CC(Q)-J 系列产品,口径:DN63―DN200 (mm),漏率:

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