PDF《第一部分 仪器介绍 01 第三》

第一部分 仪器介绍 ・ 1.

1 外观尺寸 ・ 1.2 仪器结构 ・ 1.2.1 质谱室 ・ 1.2.1.1 离子源 ・ 1.2.1.2 磁分析器 ・ 1.2.1.3 接收极与前置放大器 ・ 1.2.1.4 全离子检测极 ・ 1.2.2 真空系统 ・ 1.2.2.1 机械泵 ・ 1.2.2.2 涡轮分子泵 ・ 1.2.2.3 组合阀 ・ 1.2.2.4 真空测量 ・ 1.2.3 电气系统 ・ 1.2.3.1 开关电源 ・ 1.2.3.2 主板 ・ 1.2.3.3 离子源板 ・ 1.2.3.4 显示板 ・ 1.3 仪器主要性能参数 ・ 1.4 仪器使用环境条件 ・ 1.5 仪器成套性 第二部分 使用方法 ・ 2.1 开箱 ・ 2.2 操作前准备 ・ 2.3 安装 ・ 2.4 操作 ・ 2.4.1 首次开机 ・ 2.4.2 漏率校准与氦峰调试 ・ 2.4.3 喷吹法检漏 ・ 2.4.3.1 正常检漏操作 ・ 2.4.3.2 延长预抽时间 ・ 2.4.3.3 超高压检漏(>

20Pa) ・ 2.4.4 吸枪检漏 ・ 2.5 停机 ・ 2.5.1 维持备用 ・ 2.5.2 完全停机 第三部分 维护・3.1 日常检查 ・ 3.2 真空维护与清洗 ・ 3.2.1 机械泵油面观测 ・ 3.2.2 更换机械泵油 ・ 3.2.3 分子泵加注润滑油 ・ 3.2.4 清洗分子泵 ・ 3.2.5 清洗质谱室 ・ 3.2.6 更换离子源 ・ 3.2.7 清洗组合阀 ・ 3.3 仪器泄漏自检 第四部分 常见故障及处理 附录 A ZQJ-530 氦质谱检漏仪的工作原理 ・ A.1 质谱原理 ・ A.2 真空系统原理 ・ A.3 电子学线路的原理 附录 B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法 ・ B.1 检漏方式 ・ B.2 检漏方法 ・ B.2.1 喷吹法――确定漏孔位置 ・ B.2.2 吸入法――确定漏孔位置 ・ B.2.3 钟罩法――测总漏率 ・ B.2.4 背压法――测总漏率 附录 C 压强和漏率单位换算 附录 D 串行通讯协议 目录

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02 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 第一部分 仪器介绍 ZQJ -

530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器. 氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,除检漏原理不同外,以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,尤 其是选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者. 1.1 外观尺寸 仪器的整体外观尺寸(带小车)如图 1-1 所示: 仪器的外观如图 1-2 所示: 图1-1 外观尺寸(带小车) 1.2 仪器结构 ZQJ -

530 型氦质谱检漏仪由真空系统、质谱室、电气系统、机架、外壳和小车五部分组成.其中,真空系统包括涡轮分子泵、机 械泵 / 涡旋干泵(ZQJ-530G)和组合阀体. 小车底部有四个轮子,可移动;

机械泵在小车的底部,机身在小车的上部,中间通过加强管相连,分子泵、组合阀和质谱室装在架子 内;

分子泵电源在机架的底板上;

电子部件集中在机架的前侧和右侧;

检漏口朝上,位于机身的左前侧. 1.2.1 质谱室 质谱室是检漏仪的核心部分,包括离子源、磁分析器、接收极、前置放大器、全离子检测极和壳体等部分,如图 1-3 和1-4 所示.其 中每个部件都有不可替代的功能. 图1-2 仪器外观 图1-3 质谱室外观 图1-4 质谱室内部结构 质谱室

03 04 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 1.2.1.1 离子源 离子源的结构如图 1-5 所示,它的作用是由灯丝产生的电子轰击气体分子,再通过电场加速、聚焦形成离子束. 图1-5 质谱室中的若干部件 质谱室 1.2.1.2 磁分析器 磁分析器如图 1-6 所示,它包括磁钢组件、偏转极靴、小极靴和偏心极靴.他们组成特定的磁场.对从离子源引出的带电离子进行偏 转,使不同质荷比的离子分离、聚焦. 图1-6 磁分析器 偏心极靴 磁钢组件 离子偏转极靴 小极靴 1.2.1.3 接收极与前置放大器 接收极与前置放大器(图1-7)则是接收磁铁组件分离的离子,并将该离子产生的信号放大. 1.2.1.4 全离子检测极 全离子检测极(图1-8)主要是接收质荷比较大的离子,以此判断质谱室真空度. 注意: 质谱室详细的工作原理参见附录 A. 图1-7 接收极与前置放大器 图1-8 全离子检测极 1.2.2 真空系统 真空系统的作用是获得质谱室正常工作所需真空、抽除检漏后残存在系统中的氦气以及对被检件抽真空,真空系统在四种工作状态下 的气路原理如图 1-9 所示: