PDF《第一部分 仪器介绍 01 第三》

05 06 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 1.2.2.1 机械泵 / 涡旋干泵(ZQJ-530G) 抽速为 4l/s,用来维持分子泵工作所需前级真空和对被检工件抽真空. 1.2.2.2 涡轮分子泵 如图 1-10 所示,涡轮分子泵采用本厂家生产的 F150 型风冷式涡轮分 子泵,抽速 150L/S,对氦气有较低的压缩比,对该泵的详细资料可见备件 箱中《F100/150 系列涡轮分子泵使用说明书》. 图1-8 FB150 分子泵 图1-7 真空系统状态图 B. 预抽 C. 检漏 A. 放气 D. 调峰或校准 图1-11 组合阀 预抽阀 检漏口 放气阀 检漏口热偶 组合阀 检漏阀 前级热偶 1.2.2.3 组合阀 如图 1-11 所示为组合阀的结构: 组合阀由预抽阀、 检漏阀、 标漏阀、 放气阀和组合阀体组成, 可实现被检件的预抽真空、 检漏和放大气的全部检漏操作以及仪器的校准. 预抽阀安装在机械泵和检漏口之间,检漏阀装在机械泵和分子泵出口之间,放气阀可以使检漏口通大气,标漏阀在机械泵、预抽阀和 检漏阀之间,通过检漏阀可以使校准漏孔与真空系统相通,对仪器进行调峰、校准等操作.所有阀皆安装在一个组合阀体上. 标漏阀 预抽波纹管 校准漏孔

07 08 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 1.2.2.4 真空测量 检漏口和分子泵前级的低真空测量用热偶规(图1-11).检漏口热偶提供检漏口压强指示(发光排),以保证被检件由预抽到检漏 的安全转换以及检漏状态下的过压保护;

前级热偶给出分子泵出口的低真空指示,保证分子泵正常启动和保护. 质谱室的高真空测量用全离子检测方式,超过 3*10-2 Pa,保护电路动作,切断离子源灯丝供电. 1.2.3 电气系统 电气系统主要由开关电源、主板、离子源板、显示板和放大器几部分组成.放大器位于质谱室,分子泵电源固定在机架的底板上. 1.2.3.1 开关电源 开关电源位于检漏仪机架前方的左侧(图1-12),共三块,仪器的 220V 交流电压经空开后通过噪声滤波器进行滤波,然后到开关 电源的输入端,三块开关电源输出三组互相隔离的电压给电路系统供电,保证分子泵电源、电磁阀、灯丝与主电路供电的独立,防止相互 干扰. 图1-12 电源主板 1.2.3.2 主板 主板位于检漏仪机架前方的右侧(图1-12),它的作用是测量检漏口、分子泵前级和质谱室的真空度,测量漏率信号,读取分子泵 状态并控制分子泵,控制离子源的供电以及供电电压大小,读取灯丝信息及显示板上按键信息,主板综合所有信息使各部件相互配合完成 检漏仪的启动、预抽、检漏、放气、调零、调峰、校准、设定、保护等所有的操作和数据处理功能. 需要注意的是主板上有两个按键: K1 和 K2 . K1 是复位键,按下之后可使检漏仪复位重启,在仪器调试或检修时使用;

K2 是标漏设定键,按下后显示板上的 聚焦 、 预置 、 发射 三灯同时闪亮,此时可通过 键或 更改内部校准漏孔的标定值, 此值必须与内部校准漏孔的标定值一致,只有在更换内部校准漏孔或者内部校准漏孔值改变时才可更改此值. 图1-13 离子源板 1.2.3.3 离子源板 离子源板位于机架的右侧,如图 1-13 所示,它的主要作用是给离子源提供各种电压和灯丝加热电流,各电压的高低和发射电流的大 小直接受主板的控制.

09 10 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 1.2.3.4 显示板 显示板位于前方的面板底下如图 1-14, 它的作用是把用户操作的按键信息传给主板,并接收主板传送的数据,根据这些数据进行输 出显示,向用户提供仪器的系统状态、操作状态、测量结果.根据显示面板可以很清楚的了解到这些输入输出部分. 1.真空系统指示 面板左边的部分是真空系统工作指示部分,由一系列的指示灯组成,各灯的内容如下: 另 V2 和 F1 、 F2 之间的灯是分子泵指示灯,为双色灯,最底下的灯亮表示检漏仪电源开关已开,机械泵通电. V1 V2 V3 V4 F1 F2 系统正常 分子泵 含义 预抽阀 检漏阀 放气阀 标漏阀 灯丝