PDF《第一部分 仪器介绍 01 第三》

1 灯丝

2 系统是否准备好 分子泵状态 亮开开开开使用 使用 系统已准备好 绿灯表示正常 红灯表示故障 灭关关关关未用 未用 系统未准备好 2.漏率显示 面板中间的漏率显示部分, 发光排是系数, 数码管是指数, 发光排的每一个小格代表0.2, 第一小格代表0, 因此发光排显示可从0到9.8, 再配合指数部分即可显示漏率,指数可显示 5~10. 3.检漏口压强显示 检漏口压强显示可粗略显示检漏口压强. 4.参数显示 面板右边的一列

5 个指示灯和三个数码管可指示当前的系统参数值,各参数意义如下: 加速电压:离子源的加速电压,正常范围是 205V~315V. 聚焦电压:离子源的可变聚焦电压,正常范围是 225V~315V. 真空预置值:当检漏口压强预抽到此值时检漏阀打开,被检件与质谱室相通,可设置为 5~20Pa,通常,容易抽空的小工件,预置在 5Pa,大工件或有漏的工件预置在 10Pa,吸枪法检漏应预置在 20Pa. 发射电流 : 灯丝的发射电流, 改变其大小可以改变漏率信号的大小, 可设定值最大为0.99mA, 为了延长灯丝使用寿命建议设定在0.5mA 以下,一般 0.3mA~0.5mA 即可. 喇叭音量:漏率音响音量的大小,检漏仪可根据不同的漏率发出不同频率的声音,因此可以根据声音的变化而不用看显示来判断是否 有漏, 音量 显示的是喇叭音量的大小,可从 0%~100%,每次增加 10%,100% 为最大音量. 当与某一参数相应的指示灯亮时数码管显示的是此参数的当前值,当某一指示灯闪烁时表示此参数处于设定状态,按 键或 键可更改参数值,按 参数 键保存当前设定值并退出设定状态. 注:当按下主板上的 K2 键时, 聚焦 、 预置 和 发射 三个指示灯会同时闪亮,此时为校准漏孔标定值设定状态,数码 管显示的是校准漏孔标定值,前两位是系数,第三位是指数,通过 键或 键可更改参数值,按 参数 键保存当前设定值并退 出设定状态. 5.按键 显示板上共有五个按键,可实现检漏仪的各种操作. 检漏键:在放气状态或开机系统准备好后按 检漏 键即可检漏. 图1-14 显示板 参数选择指示灯 操作键 检漏口压强 真空系统指示 漏率显示 参数设定键 参数值显示

11 12 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 ZQJ-530G 氦质谱检漏仪 放气键:在检漏状态或校准漏孔打开状态按 放气 键即可放气. 调零键:按下 调零 键可将当前漏率显示值调到 0.5*10-10 Pa?m3 /s 以下;

如果按键时间超过

3 秒则将零点调到 7.0*10-10 Pa?m3 /s. 校准键:在检漏状态下,按下 校准 键3秒以上,检漏仪进行自动校准;

在放气状态下,按下 校准 键则打开漏孔阀. 调峰键:在检漏状态下,按下 调峰 键3秒以上,检漏仪进行自动调峰;

在放气状态下,按下 调峰 键,如果另一个灯丝可用, 则更换为另一个灯丝. 参数设定键:当某一参数对应的指示灯处于亮的状态时,按下 参数 键则指示灯开始闪烁,进入此参数的设定状态;

当某一指示灯 闪烁时,按下 参数 键则保存当前设定值并退出设定状态. 键:当某一参数对应的指示灯处于亮的状态时,按下 键则转入到上一个参数;

当某一指示灯闪烁时,按下 键则当前设 定值增大. 键:当某一参数对应的指示灯处于亮的状态时,按下 键则转入到下一个参数;

当某一指示灯闪烁时,按下 键则当前设 定值减小. 1.3 仪器主要性能参数 最小可检漏率(对氦) ........