PDF《建设项目环境影响报告表》

2 12.5kg 纸箱 车运 去光阻剂 二甲亚砜 97%,氢氧化 四甲胺 3% 28.1 50.4 22.3

8 200L 塑 料桶 车运 金蚀刻液

1 KI+I225%,水75% 2.870 6.66 3.79 0.87 20L 塑料 桶 车运 金蚀刻液

2 KI+I220%,水80% 1.088

0 -1.088 / 20L 塑料 桶 车运 钛钨蚀刻液 30%H2O2 29.25

72 42.75 5.0 200L 塑 料桶 车运 Ti 靶Ti 0.291 0.235 -0.056 0.088 纸箱 车运 Cu 靶Cu 0.833 0.551 -0.282 0.4 纸箱 车运 光阻剂 丙烯酸树脂类 60%,感 光剂 40% 0.878 0.531 -0.347 0.2 3.8L 玻璃瓶 车运 显影液 水94%,界面活性剂 3.5%,氢氧化四甲铵 2.5% 1.450 0.87 -0.58 0.22 20L 塑料桶 车运 硫酸铜 电镀级 1.647 0.988 -0.659 1.0 25kg 袋装 车运 硫酸 45%H2SO4 1.694 1.106 -0.588 0.25 25L 塑料桶 车运 磷铜球 含P0.05% 0.108 0.065 -0.043 0.2 纸箱 车运 硼酸 95% 0.130 0.078 -0.052 0.02 500ml 瓶装 车运 氨基磺酸镍 电镀级 1.373 0.824 -0.549 0.2 25L 塑料桶 车运 氯化镍 电镀级 0.038 0.023 -0.015 0.01 5kg 袋装 车运 镍润湿剂 水99%,有机盐 1%, 氢氧化四甲酰胺 3% 0.120 0.072 -0.048 0.018 25L 塑料桶 车运 胺基磺酸 固体 99.9% 0.035 0.021 -0.014 0.005 25L 塑料桶 车运 镍饼 99.9% 0.013 0.008 -0.005 0.002 5kg 袋装 车运 氰化亚金钾 99.9% 0.124 0.074 -0.05 0.02 100g 瓶装 车运 PH 调整盐 柠檬酸 100% 0.004 0.0024 -0.0016 0.04 10kg 纸箱 车运 比重调整盐 40%柠檬酸,60%柠檬 酸三钾 0.029

0 -0.029 0.06 10kg 纸箱 车运 软金建浴盐 柠檬酸钾 65%,柠檬酸 35% 0.028 0.017 -0.011 0.6 12.5kg 纸箱 车运

8 铜金 凸块 生产 光阻剥离液 二甲亚砜 97%,氢氧化 四甲酰胺 3% 53.125 31.875 -21.25

8 200L 塑料桶 车运

3 铜蚀刻剂 过氧化氢 5%,乙酸钠 10%,甘氨酸 10% 104.167 62.5 -41.667 15.6 200L 塑料桶 车运 钛蚀刻剂 30%H2O

2、KOH20%

20 0 -20 / 20L 塑料桶 车运 双氧水 H2O230%溶液

48 26.4 -21.6 5.0 200L 塑料桶 车运 钛钨合金靶 钛钨合金 / 0.36 0.36 0.13 纸箱 车运 铜靶 铜/0.315 0.315 0.375 纸箱 车运 光阻剂 丙烯酸树脂 60%,丙二 醇甲醚醋酸酯 40% / 3.6 3.6 0.3 玻璃瓶 车运 显影液 氢氧化四甲铵 2.5%, 界 面活性剂 3.5%, 水94% /

72 72 3.6 塑料桶 车运 硫酸铜 电镀级,固态,CuSO4 / 1.6 1.6 0.6 玻璃瓶 车运 硫酸 45% H2SO4 / 2.5 2.5 0.2 玻璃瓶 车运 磷铜球 电镀级含 P0.05% / 0.33 0.33 0.2 玻璃瓶 车运 锡基础液 液态, 7%烷基磺酸, 8% 甲基磺酸锡,85%水/220.8 塑料桶 车运 去光阻剂 液态,二甲亚砜 97%, 氢氧化四甲胺 3% /

99 99

16 塑料桶 车运 铜蚀刻剂 液态, H2O25%, 乙酸钠 10%,甘氨酸 10%,其 余水 /

68 68

14 塑料桶 车运 钛钨蚀刻剂 液态,30%H2O2 /

40 40

3 塑料桶 车运

8 铜锡 凸块 生产 甲酸 液态,90%甲酸 / 0.5 0.5 0.25 玻璃瓶 车运 注:①最大储存量为全厂存储量,储存于现有颀中科技厂区化学品库;

②搬迁扩建后原辅料用量来源于搬 迁扩建前实际生产统计.③搬迁扩建后,金凸块和铜金凸块生产使用的比重调整盐停用,改为软金建浴盐,铜 金凸块生产使用的钛钨蚀刻剂改为双氧水. 表1-2 主要原辅材料的理化性质、毒理毒性 物料名称 分子式 理化性质 燃烧爆炸性 毒理性质 光阻剂 丙烯酸树脂 类60%,感 光剂 40% 粘性淡黄色液体,蒸汽压 2mmHg (20℃) ,沸点 145℃;

闪点(闭杯) 47℃,是极强的惰性溶剂 可燃,燃点 389℃,蒸气与 空气混合能形成爆炸性混合 物,下限 1.9%,上限 13.1% MMP LD50 (大鼠 经口):3700mg/kg;

苯甲 基系光阻剂LD50 ( 大鼠经口) :2000mg/kg 丙二醇 甲醚 (50%) C7H16O3 无色液体, 具有轻微醚类气味和苦 味.分子量 149.00,沸点 193-195℃, 蒸气压 0.05(25 ) ℃ , 相对密度 (水=1) 0.95,闪点 74℃. 可燃,遇明火、高热可燃. LD50 : 5500mg/kg(大鼠 经口) 去边剂丙二醇 甲醚醋 酸酯 (48%) C6H12O3 无色透明液体,熔点:-87℃;