PDF《AEMD 校级平台月报》

2015 年12 月9日, 苏州大学教授、 中国光学学会全息与光信息处理专业 委员会主任,数码激光成像与显示教育部研究中心主任陈林森教授应邀 至AEMD 平台参观指导,并在微电子大楼

401 会议室开展关于高速及柔 性器件相关研讨会…... ?

2015 年12 月15 日,东南大学凌新生教授至 AEMD 平台参观交流,平台 常务副主任程秀兰老师就净化室整体规划、设备配置以及运行使用情况 进行了介绍,凌教授在了解平台现有加工工艺能力后,对平台的建设予 以充分的肯定.同时,凌教授就其科研方向纳米孔与平台程老师展开热 烈的讨论,并提到 AEMD 平台的建立在一定程度上弥补了上海乃至中国 在微纳技术领域的缺憾…… ?

2015 年12 月29 日,普渡大学某教授来访参观,对于平台的建立表示充 分的肯定与支持. ?

2016 年1月7日, 校资实处安全办领导一行莅临 AEMD 平台进行消防安 全检查.对于安全办领导提出的整改意见,平台也在积极整改中. 常见问题 Q&A: ? Q:我们学生应该怎么预约 AEMD 平台使用设备呢? A:建立账户充值之后就可以预约使用平台相关设备,预约至少提前一天邮件 预约,预约格式详见:http://aemd.sjtu.edu.cn ? Q:我们不是很清楚平台设备的主要功能,有相关资料可以参考吗? A:为让各位用户在科研中能更恰当、合理地选择相关的工艺方法与分析手段 进行微纳结构、器件与芯片的设计、制备与测试,AEMD 平台特开设了"先 进微纳加工技术与应用"课程(课程编号:ES26008) . 消防安全: ? 为了进一步加强 AEMD 平台安全工 作,增强平台师生消防安全意识, , 做到在发生化学品泄漏时,能临危不 乱,有序、迅速地使用防化服装备, 确保生命安全和平台的消防安全. AEMD 平台于

2015 年12 月25 日开 展了一次防化装备使用演练. ? 平台厂务部门确保特气使用安全,进 一步规范特气使用规程,明确特气使 用流程. ? 近期 AEMD 平台厂务部门与校安全 办沟通联系,校安全办将协助平台批 量处理废水废液. 工艺研究: 光敏 BCB 胶60 微米以上 圆形孔的开孔工艺 镀金工艺: 电镀后电镀前光刻胶图形Pt 丝顶端微纳结构加工