PDF《石板小学 SW 2040 师生 350 人》

1 个,共10 吨(最大储存量 9t) 液氮罐

1 个,33m?(预留

1 个,33m?) 氢气罐

2 个,共60 m?(单个

30 m?) 3.1.3 产品方案 项目主要从事外延片及芯片的生产,全厂年产白光及蓝绿光外延片

100 万片、 白光 及蓝绿光芯片

60 万片. 外延片及芯片采取全天

24 小时生产,年生产 8064h.项目产品方案详见表 3.1-2. 表3.1-2 项目产品方案 产品名称及规格 产品产量 年运行时数 `外延片 蓝绿外延片 万片/年20 8064h 白光外延片

80 合计

100 芯片 蓝绿芯片 万片/年20 白光芯片

40 合计

60 3.1.4 项目主要原辅材料 项目物料消耗情况见表 3.1-3-3.1-4. 表3.1-3 外延片生产线主要原辅料消耗 原料名称 规格 消耗量 厂区储存量 储存 方式 备注 衬底--兆远 0.2 PSS

700 kg/a

150 kg 盒装 用于蓝绿光外延片 生产 三甲基铟

300 EPipure 4.223 kg/a

1 kg 瓶装 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

20 三甲基镓

2500 Adduct 129.841 kg/a

27 kg 瓶装 三乙基镓

1000 Adduct 17.733 kg/a 3.8 kg 瓶装 三甲基铝

100 LOW oxygen 1.144 kg/a 2.3 kg 瓶装 二茂镁

100 Adduct 0.15 kg/a 0.03 kg 瓶装 氨气 6N

14410 kg/a

9 kg 钢瓶 SiH4/H2 混合气 200ppm 0.66 kg/a 0.1 kg 瓶装 衬底--兆远 0.2 PSS 2800kg/a / 用于白光外延片生 产 三甲基铟

300 EPipure 16.892 kg/a 三甲基镓

2500 Adduct 519.364 kg/a 三乙基镓

1000 Adduct 70.932kg/a 三甲基铝

100 LOW oxygen 4.576 kg/a 二茂镁

100 Adduct 0.6 kg/a 氨气 6N 57640kg/a SiH4/H2 混合气 200ppm 2.64 kg/a 氮气 6N

3000 m3 /a

30 m3 储罐 - 表3.1-4 芯片生产线主要原辅材料消耗 原料名称 单位 消耗量 储存量 储存方式 备注 蓝绿光外延片 万片/a

20 用于蓝绿光芯片 生产 硫酸 kg/a 1747.53

450 桶装 盐酸 kg/a 1541.3

380 桶装 氧化铟 kg/a 3.1 0.8 瓶装 光刻胶 kg/a 2105.736

260 桶装 显影液 kg/a

22620 15000 桶装 ITO 蚀刻液 kg/a

1653 150 桶装 氯气 kg/a 0.486 0.06 氯气钢瓶 三氯化硼 kg/a 0.208 0.026 瓶装 丙酮 kg/a

4559 280 桶装 铬kg/a 2.306 0.86 瓶装 铂kg/a 1.512 0.6 瓶装 金kg/a 34.084

12 瓶装 氧化亚氮 kg/a 0.216 0.05 瓶装 硅烷混合气 kg/a 0.184 0.025 瓶装 BOE 刻蚀液 kg/a

2800 250 桶装 金刚石研磨液 kg/a 2328.2

300 桶装 白光外延片 万片/a

40 / 用于白光芯片生 产 硫酸 kg/a 3495.06 盐酸 kg/a 3082.6 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

21 氧化铟 kg/a 6.2 光刻胶 kg/a 4211.472 显影液 kg/a

45240 ITO 蚀刻液 kg/a

3306 氯气 kg/a 0.972 三氯化硼 kg/a 0.416 丙酮 kg/a

9118 铬kg/a 4.612 铂kg/a 3.024 金kg/a 68.168 氧化亚氮 kg/a 0.432 硅烷混合气 kg/a 0.368 BOE 刻蚀液 kg/a

5600 金刚石研磨液 kg/a 4656.4 3.1.5 主要设备清单 表3.1-5 企业主要设备清单一览表 序号 设备名称 单位 型号 数量(套) 一 外延生产线主要设备

111 1 MOCVD 台MaxBright

10 2 MOCVD 台K465

3 3 MOCVD 台K465i

3 4 氢气纯化器 台PS7-MGS120-H-A-2

2 5 氨气纯化器 台PS21-MGS50-NH-2

2 6 氮气纯化器 台PS8-MGS120-N-2

2 7 MOCVD 供气系统 套28MOCVD 水汽监测 套69尾气处理器 套W3000

10 10 尾气处理器 套NSGC1.5K

10 11 ........