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longradar.com.cn 美国 ALICAT

21 系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流 压差专利技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动.内置的绝压 和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差 异,并对用户标准工况进行修正.所有 ALICAT 质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准证书.ALICAT 的21 系列数字式质量流量控制器可用 于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并显 示气体温度,适用于多种流量测控场合.设备采用快速稳定的优质电磁 阀以及优化的 PID 调校,可达到优于

100 ms 的控制速度,并保持极佳 稳定性,并有超低压降产品可供您选择. 电话010-64449938 010-64449937 传真数字化产品 多参数显示和输出:温度、压力、流量等 多参数控制,如体积流量、质量流量和压力 标配三种控制方式:数字、模拟和本地面板 可选高精度:优于 0.5% 高量程比 200:1 响应时间快 仅需

100 ms 内置

98 种气体 可现场标定混合气体(最多

5 种成分),并存储

20 种混合气 * 如选 Profibus,则无模拟信号,无显示,其供电电压及供电电流需来电垂询. 图示为 0-0.5 SCCM 到0-50 SCCM,更多量程尺寸请见背面尺寸 / 压损表 介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体 介质种类 内置了

98 种气体,请参考背面气体兼容表 一台设备内置所有气体,用户可现场选择 量程从0-0.5 SCCM 到0-5000 SLPM(详情请咨询) 量程比200 :1 最大可控流量 102.4 % 满量程 显示屏带按键,标准为 LCD 显示屏,可选 TFT 彩色显示屏 显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度 精度±(0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程) 高精度±(0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程),选配 仅适用于量程为

5 SCCM-500 SLPM 的设备 重复性±0.2 % 满量程 零点漂移 & 满量程漂移 0.02% 满量程 / ℃ / Atm 响应时间

100 ms(可调) 预热时间 < 1s 标定工况

25 ℃ &

100 KPa 绝压、(其它标况可调) 工作温度 -10 ~

60 ℃ 工作湿度 0-100 %,无冷凝 最大工作压力

1 MPa 表压 极限耐压 1.2 MPa 表压 数字输入 / 输出信号 RS

232、RS

485、Modbus、Profibus* 模拟输入 / 输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA 可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度 供电电压 7-30 VDC (如选 4-20 mA 输出,须为 15-30 VDC ) 供电电流

250 mA -

750 mA 电气接口

8 针Mini-DIN、DB

9、DB

15、6 针工业接头 材质302 不锈钢、Viton、硅胶 RTV、玻璃增强尼龙、 铝、黄铜、430FR 不锈钢、硅、玻璃 安装方式 对位置无要求 防护等级 IP40 大学 / 研究所 环境监测 真空行业及镀膜 工业炉窑 半导体 汽车制造 光伏 燃料电池 计量 过程工艺气体测量 行业应用产品特色性能指标订货时,须指定如下参数 型号系列:21 系列 气体种类: 流量范围: 工作温度: 入口压力: 出口压力: 过程连接尺寸和类型:参考上面的尺寸 / 压损表 模拟输入 / 输出信号: 数字输入 / 输出信号: 标定温度标准:缺省 25℃ 选项及其它:可选防爆、本地 / 远程显示、带开关量报警 带累积流量、高精度等选项,详情请致电. 订购信息北京朗润达 美国 ALICAT( 艾里卡特 )

21 系列质量流量控制器 层流差压原理 非抗腐蚀 量程 0-0.5 SCCM 到0-5000 SLPM,量程比

200 : 1,内置

98 种气体,100 ms 快速响应时间,优于