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产品解决方案 产品名称: SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 联系人: 联系

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chotest.com 深圳市中图仪器股份有限公司 SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 -

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一、产品简介 SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测 仪器.它是以白光干涉技术为原理、结合精密 Z 向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫 描并建立表面 3D 图像,通过系统软件对器件表面 3D 图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质 量的 2D、3D 参数,从而实现器件表面形貌 3D 测量的光学检测仪器. SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C 电子玻璃屏及其精 密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS 器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、 科研院所等领域中.可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件 的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据 ISO/ASME/EUR/GBT 四大国内外标准共计

300 余种2D、3D 参数作为评价标准.

二、产品功能 1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件 自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能. 2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能. 3) 测量中提供拼接测量功能. SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 -

2 - 4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校 平、镜像等功能;

纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;

滤波包括去除外形、标准滤波、 过滤频谱等功能;

提取包括提取区域和提取剖面等功能. 5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其 中粗糙度分析包括依据国际标准的 ISO4287 的线粗糙度、 ISO25178 面粗糙度、 ISO12781 平整 度等全参数分析功能;

几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆 度形位公差评定等功能;

结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;

频率分析包括纹理方向和频谱 分析等功能;

功能分析包括 SK 参数和体积参数等功能. 6) 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自 动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能.

三、应用领域 对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐 蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析. 应用范例: 半导体制造(减薄粗糙度、镭射槽道轮廓) 光学元器件.曲率&

轮廓尺寸&

粗糙度 (超精密)加工.轮廓尺寸&

角度 表面工程(摩擦学).轮廓面积&

体积 3C 电子(玻璃屏).粗糙度 标准块.台阶高&

粗糙度 SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 -

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四、性能特色

1、 高精度、高重复性 1) 采用光学干涉技术、 精密 Z 向扫描模块和优异的 3D 重建算法组成测量系统, 保证测量精度高;