PDF《产品解决方案》

2) 独特的隔振系统,能够有效隔离频率 2Hz 以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声 波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中也能稳定使用,获得极高的测量重复性;

2、 一体化操作的测量分析软件 1) 测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2) 可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3) 结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4) 几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5) 一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分 析与统计

图表功能;

6) 可测依据 ISO/ASME/EUR/GBT 等标准的多达

300 余种 2D、3D 参数.

3、 可扩展大行程载物台 X/Y 方向标准行程 200mm,更可扩展外接

12 英寸的

360 度转盘和真空吸盘,实现 300mm 直径 范围内的全覆盖测量;

4、 自动光学变倍目镜 集合了 0.5*、1*和2*的多个光学倍率的可自动切换的光学变倍目镜,可与物镜组搭配使仪器具备从 1.25* ~200*的光学放大倍率,明察秋毫的测量能力体贴入 微 .

5、 精密操纵手柄 集成 X、Y、Z 三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z 向聚焦、找条纹等 测量前工作.

6、 双通道气浮隔振系统 既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统, 在无外接气源的条件下也可稳定工作.

六、技术指标 1.技术规格表 光源 白光/绿光 LED(单双可选) 影像系统 1024*1024 干涉物镜 2.5*,5*,10*,20*,50*,100* SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 -

4 - 自动光学变倍目镜 0.5*,1*,2* 系统光学放大倍率 1.25*~ 200* 标准视场 0.49*0.49mm 最大视场 6*6mm 物镜塔台

3 孔手动(可选

5 孔电动) XY 位移 平台 尺寸 320*320mm 移动范围 200*200mm 负载 10kg 控制方式 电动 水平调整 ±6°电动 Z 轴 聚焦 行程 100mm 控制方式 电动 Z 向扫描范围

10 mm Z 向分辨率 0.1nm 可测样品反射率 0.5%~100% 粗糙度 RMS 重复性 0.005nm 台阶测量 准确度 重复性 0.75% 0.1% 1σ 注:粗糙度性能参数依据 ISO

25178 国际标准在实验室环境下测量 Sa 为0.2nm 硅晶片 Sq 参数获得;

台阶高性能参数是在实验室环境下测量 4.7?m 台阶高标准块获得. 2.仪器尺寸(长*宽*高) : 主机:900*700*1500mm;

3.仪器主机重量:小于 300Kg;

4.使用环境:无强磁场,无腐蚀气体 工作温度:15℃ ~30℃,温度梯度 <

1℃/15 分钟 相对湿度:5%-95%RH,无凝露 环境振动:VC-C 或更优 隔振气源:0.6Mpa 稳压清洁气源,除油、除水,气管直径 6mm

七、 产品配置清单 标准配置: 1)SuperView W2 主机 2)影像系统:1024*1024;

3)光学 Zoom:1*;

SuperView W2 光学 3D 表面轮廓仪 -

5 - 4)XY 位移载物台:自动位移台;

5)物镜转盘:3 孔手动 5)品牌计算机;

6)校准模块;

7)操纵手柄;

8) 中图光学 3D 表面轮廓仪软件一套;

9)电气控制柜;

10)仪器配件箱;

11)便携加压充气装置一套;

12)产品使用说明书;

13)产品合格证、保修卡;

可选配置: 1)干涉物镜:2.5*、5*、10*、20*、50*、100* 2)自动光学变倍目镜: 0.5*、1*、2* 3)真空吸附台(半导体晶圆片专用):6 寸、8 寸、12 寸4)自动测量拼接测量功能模块(须硬件支持) 5)物镜转盘:5 孔电动