PDF《先进缺陷发现与工艺监控应对 10 纳米良率挑战》

9980 的新型 NanoPoint? 设计可改善缺陷灵敏度,抑 制系统杂讯缺陷,并增加检测结果的良率相关性. CIRCL5 包括使用并行数据采集进行快速且具有成本效益监控的可配置模块:8920i 正面检测 模块,CV350i 边缘检测、检查与量测模块,BDR300 背面检测与检查模块,以及自动缺陷检查 与量测模块.通过关联所有晶圆表面的检测结果,例如边缘剥落缺陷与正面颗粒缺陷之间相 关联,CIRCL5 能够实现对工艺偏离来源的迅速识别. Surfscan SP5XP 无图案晶圆缺陷检测仪采用扩展型 DUV 技术和创新算法创造出新型操作模式, 对于以具有成本效益的方式及早侦测出相关随机基板或薄膜缺陷与偏离至关重要.一种模式 为先进的进程调试应用提供了业界领先的灵敏度,而另一种模式则在 Surfscan 平台上为生产 工艺监控提供了迄今最高的产能. 世界各地的集成电路制造商已安装了多款

3900 系列、2930 系列、Puma

9980、CIRCL

5、 Surfscan SP5XP 和eDR7280 系统,用于在先进技术节点进行逻辑电路和存储器件的研发与产 能提升.2930 系列、Puma

9980、CIRCL

5、Surfscan SP5XP 和eDR7280 可以在其前代产品进 行现场升级,提供了保护晶圆厂资本投资的可扩展能力.为了保持集成电路制造所要求的高 性能和高产能,所有六套系统均由 KLA-Tencor 的全球综合网络提供服务与支持.如需更多信 息,请浏览先进晶圆检测系列产品网页. 关于 KLA-Tencor: KLA-Tencor 公司是工艺控制与良率管理解决方案的领先提供商,它与全球客户合作,开发先 进的检测与量测技术.这些技术为半导体、发光二极管 (LED) 及其他相关纳米电子产业提供 服务.公司拥有广泛的业界标准产品系列及世界一流的工程师与科学家团队,四十年来为客 户努力打造优秀的解决方案.KLA-Tencor 的总部设在美国加利福尼亚州米尔皮塔斯 (Milpitas),并在全球各地设有专属的客户运营与服务中心.如需更多信息,请访问网站 www.kla-tencor.com (KLAC-P). 前瞻性声明: 本新闻稿中除历史事实以外的声明,例如关于

3900 系列、2930 系列、Puma

9980、Surfscan SP5XP 、CIRCL5 和eDR7280 系统的预期性能,3900 系列、2930 系列、Puma

9980、Surfscan SP5XP 、CIRCL5 和eDR7280 系统相对于未来技术节点的可扩展性,半导体产业的趋势及其带来 的预期挑战,KLA-Tencor 的客户对

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9980、Surfscan SP5XP 、 CIRCL5 和eDR7280 系统的预期使用,以及

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9980、Surfscan SP5XP 、CIRCL5 和eDR7280 系统使用者可以实现的预期成本、运营与其他受益等陈述,均为前 瞻性声明,并受到《1995 年美国私人证券诉讼改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act of 1995) 规定的 安全港 (Safe Harbor) 条款的制约.这些前瞻性声明基于当 前信息及预期,且包含诸多风险与不确定性.由于各种因素,包括延迟采用新技术(无论是 由于成本或性能问题抑或其他问题),其他公司推出竞争性产品,或影响 KLA-Tencor 产品的 实现、性能或使用的意外技术挑战或限制,实际结果可能与此类声明中的预计结果实质不同. # # # ........