PDF《北京量子信息科学研究院激光直写光刻机成交公告》

北京量子信息科学研究院激光直写光刻机成交公告 项目信息 项目编号:HCBY-ZC-2019038 项目名称:激光直写光刻机 项目联系人:杨楠 联系方式:18618127731 采购单位信息 采购人名称:北京量子信息科学研究院 采购人地址:北京市海淀区西北旺东路

10 号院西区

3 号楼 采购人联系人及

电话:陈春融,010-83057401 采购代理机构信息 采购代理机构:华诚博远工程咨询有限公司 采购代理机构地址:北京市西城区宣武门外大街

10 号庄胜广场中央办公楼北翼 13A 层 采购代理机构联系人及

电话:杨楠,18618127731 成交信息 招标文件编号:HCBY-ZC-2019038 本项目单一来源公告日期:2019 年3月29 日 成交日期:2019 年6月6日总成交金额:人民币 3474150.

00 元 成交供应商名称、地址及成交金额: 供应商名称:华格科技(苏州)有限公司 供应商地址:中国苏州工业园区北摆宴街

8 号恒润商务大厦一楼 A-3 成交金额:人民币 3474150.00 元 本项目代理费金额 人民币 3.3772 万元 取费依据: 参照国家计委 《招标代理服务收费管理暂行办法》 计价格 〖2002〗

1980 号文下浮 20%. 采购小组人员名单:孙家跃、邢燕、薛光明. 项目用途、简要技术要求及合同履行日期 用途:北京量子信息科学研究院实验室使用. 简要技术要求:

1、温控防尘罩: 设备须备有温控防尘罩, 防尘罩功能是主要将外部空气通过灰尘过滤装置利用气流正压流 量控制维持防尘罩内空气的质量, 同时亦可控制内部的温度控制以达到光刻与精度质量控制. 需满足以下指标: ? 灰尘粒子过滤等级:10 级;

? 气体流量控制:0.3 到0.5 m/s 之间;

? 温度控制: +/- 0.1° C;

(外在环境+/- 1° C 情况下)

2、大理石花岗岩机座及气浮防震装置;

3、光刻半导体激光器;

? 激光器种类: 半导体激光器, ? 激光器波段: 405nm ? 激光能量: 300mW ? 一般使用寿命: 至少

10000 小时 ? 激光器保证使用寿命: 至少

5000 小时或一年 …… (详见单一来源采购文件) 合同履行日期:合同签订后

6 个月内完成供货. 成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求: 成交标的名称:激光直写光刻机 数量:1 台套 注:4 . 因本项目涉及属于国家免税政策的产品,故进口免税产品的清关、免税手续等由外贸代理负责办理,本次进口免税产品报价不含此费用. 其他补充事宜 公告期限:1 个工作日. 本公告同时在中国政府采购网及北京市政府采购网发布. 本项目为单一来源采购.